169943. lajstromszámú szabadalom • Többrétegű elektronikai elem és eljárás az elem rétegei közötti átvezetőréteg kialakítására
13 , 16" 43 14 kított dielektromos rétegekből állt. A többrétegű elem 20 darab 1 mm átmérőjű furattal volt ellátva. A többrétegű elem külső rézrétegei lakkréteggel voltak bevonva. Az elemet olyan oldatba helyeztük, amely az alábbi vegyületeket tartalmazta: PdCl2 5-'lO -3 mól/l, H2 S0 4 10 -2 mól/l. O A kezelést 20 C hőmérséklten végeztük, mégpedig váltakozó elektromos térben. Ennek paraméterei az alábbiak voltak: frekvencia 50 Hz, feszültség 2,5 V, áramerősség 1 A. A leírt módon történő kezeléssel villamosan vezető zárt palládium-vékonyréteget lehetett kialakítani 100 nm vastagságban. A többrétegű elemet ezután vízzel lemostuk, és az 1. példában ismertetett módon foncsoroztuk. A pórusos szakaszokat eltávolítottuk, és ugyancsak az 1. példában ismertetett módon elektrolitikus fémbevonatot vittünk fel a többrétegű elemre. 7. példa Az 1. példában ismertetett többrétegű elemre az ugyancsak az 1. példában ismertetett módon villamosan vezető palládium-vékonyréteget vittük fel. Az ismertetett oldatba azonban a többrétegű elemen kívül két 200 x 300 mm méretű elektródát helyeztünk el. Az elektródák aranyozott rézhálóból voltak. A többrétegű elem az oldatban az egyes elektródáktól 20 mm távolságra volt elhelyezve. Az elektródákat váltóáramú áramforrással kapcsoltuk össze, és 4,5 A áramerősségű, valamint 4,8 V feszültségű árammal váltakozó elektromos teret hoztunk létre. A többrétegű elemet 3,5 percig tartottuk az oldatban, amelynek hőmérséklete 20 C volt. Ezalatt az idő alatt az oldat hőmérséklete emelkedett, és 200 mm vastagságú egyenletes palládium-vékonyréteg rakódott le a többrétegű elem furatainak falára. A többrétegű elem további kezelése megegyezett az 1. példában ismertett eljárással. 8. példa 200 x200 mm méretű, 2,2 mm vastag többrétegű vezetőlapot kezeltünk. A többrétegű elem 10 kapcsolóréteget tartalmazott, és 800 darab 1 mm átmérőjű furattal volt ellátva. A furatok falát váltakozó réz- és poliamid dielektromos rétegek homlokfelületei alkották. A többrétegű elemet az 1. példában ismertetett oldatba helyeztük, palládium-vékonyréteg kialakítása céljából. A többrétegű elemet önálló elektródák fogták közre. Az elektródák lakkozott rézhálóból voltak kialakítva, és a többrétegű elem közvetlen közelében voltak elhelyezve. Az* oldatba merített, lakkréteggel szigetelt hálóelektródákat 500 V feszültségű váltakozó áramú áramforrással kapcsoltuk össze. Az oldat hőmérséklete a folyamai alatt 25 C volt. A kezelés során 4,7 perc alatt alakítottunk ki 200 nm vastagságú teljesen egyenletes palládium-vékonyrégeget. Ez a palládium-vékonyréteg a többrétegű elem furatainak 5 teljes belső falát beborította. A többrétegű elem fémrétegeit és poliamid dielektromos rétegeit összekötő teljes átvezető-fémréteg kialakítása az 1. példában ismertetett módon történt. 10 Szabadalmi igénypontok: 1. Többrétegű elekronikai elem váltakozva elhelyezett fémrétegekből és dielektromos rétegekből, valamint a rétegeket összekapcsoló átvezető-fém-15 réteggel, azzal jellemezve, hogy az átvezető-fémréteg (3) olyan szilárd oldat, amely higanyból és a többrétegű elem fémrétegeit alkotó fémnél elektropozitívabb fémből áll. 2. Az 1. igénypont szerinti elektronikai elem 20 kiviteli alakja, azzal jellemezve, hogy az átvezető-fémréteg (3) elektrolitikus úton felvitt fémbevonattal (4) van ellátva. 3. Az 1. vagy 2. igénypont szerinti többrétegű elem kiviteli alakja, azzal jellemezve, hogy a di-25 elektromos rétegek (2) átvezető fémréteggel (3) bevont homloklapjai a többrétegű elem rétegeivel (1, 2) párhuzamosan kialakított fémrétegekkel (1') olyan szakaszokra vannak osztva, amelyek vastagsága a legvékonyabb dielektromos réteg (2') vastag-30 ságával azonos. 4. Eljárás az 1—3. igénypontok bármelyike szerinti többrétegű elem előállítására, amelynek során a rétegek homlokfelületein villamosan vezető vékonyréteget alakítunk ki, azzal jellemezve, hogy a 35 villamosan vezető vékonyréteget úgy állítjuk elő, hogy a többrétegű elemet a többrétegű elem fémrétegeit alkotó fémnél elektropozitívabb fém ionjait tartalmazó oldatba merítjük, és ezeket az ionokat a fémrétegek fémjével redox reakcióba visszük, 40 majd zárt, villamosan vezető vékonyréteg kialakítása után a többrétegű elemet higanyionokat tartalmazó oldatban kezeljük. 5. Eljárás az 1-3. igénypontok bármelyike szerinti többrétegű elem előállítására, amelynek során 45 a rétegek homlokfelületein villamosan vezető vékonyréteget alakítunk ki, azzal jellemezve, hogy a villamosan vezető vékonyréteget úgy állítjuk elő, hogy a többrétegű elemet először higanyionokat tartalmazó oldatba merítjük, majd a higany-vékony-50 réteg kialakulása után a többrétegű elemet olyan oldatban kezeljük, amely a többrétegű elem fémrétegeit alkotó fémnél elektropozitívabb fém ionjait tartalmazza, és ezeket az ionokat a többrétegű elem fémrétegeinek fémjével redox reakcióba 55 visszük, és a többrétegű elemet addig tartjuk az oldatban, ameddig a homlokfelületen összefüggő vékonyréteg alakul ki. 6. Az 5. igénypont szerinti eljárás foganatosítási módja, azzal jellemezve, hogy a többrétegű elemet 60 az összefüggő vékonyréteg kialakulása után ismét higanyionokat tartalmazó oldatban kezeljük. 7. A 4. vagy 5. igénypont szerinti eljárás foganatosítási módja, azzal jellemezve, hogy a villamosan vezető vékonyrétegre fémbevonatot viszünk 65 fel. 7
