169801. lajstromszámú szabadalom • Többréteg-struktúra és eljárás a többréteg-struktúra közbenső vezetőrétegeinek előállítására
13 169801 14 CuCl2 • 2H20 — 1,8 m/1, HCl — 2 m/1. Ezt a kezelést 25 °C hőmérsékleten 10 percig végezzük az oldatban. Eredményként a furatok falaiban keletkezett rézréteget tisztítjuk, miközben villamos vezető ólomszulfid segédfóliát hoztunk létre a poliamid dielektrikum homlokfelületén. Ezután a nyomtatott huzalozása lapot folyóvízben öblítjük, 10 százalékos kénsavoldatban pácoljuk, majd áramforráshoz kapcsolt szilícium-fluor-hidrogén elektrolitban rézréteget viszünk fel Dc = 3 A/dm2 érték betartásával és abban 50 percig kezeljük. Az említett kezeléssel az elektrolitikus módon leválasztott réz közbenső villamos átvezetéseket hoztuk létre, amely a nyomtatott kapcsolással ellátott rétegek homlokoldalait közvetlenül összeköti. 5. példa A 3. példában említett többrétegű villamos nyomtatott huzalozású lapot a 2. sz. példa során említett érzékenyítő oldatban kezeljük, majd ezt követőleg az alábbi összetételű oldatba merítjük: CS(NH2 ) 2 — 10m/l, KOH — 11 2 m/1. A kezelést ebben az oldatban 30 percig végezzük 25 °C hőfokon. Ezután a villamos vezető lapot folyóvízben öblítjük, majd ezt követően az alábbi oldatba merítjük: CuS04 -5H 2 0 — 10-2 m/1, NaCH3 COO — 1 m/1, CS(HN3 ) 2 — • 10-! m/1. A kezelést az említett oldatban 56 percig végezzük 54 °C hőfokon. A kezelés eredményeképpen a furatok falain összefüggő villamos vezető fólia képződik, mely 150 nm vastagságú rézszulfid, amelynek specifikus ellenállása 500 ohm/cm2 . Ezután a villamos vezető lapot folyóvízben öblítjük, majd levegőn szárítjuk 15 percig. Ezutám szárítószekrénybe helyezzük, ahol 80 °C hőmérsékleten 60 percig tartjuk. Az említett hőkezelés eredményeként a rézfólia ellenállásának értéke 100 ohm/cm2 . Ezután a villamos vezető lapot az alábbi összetételű oldatba mártjuk: (NH4 ) 2 S 2 0 8 — 10 2 m/1, (NH4 ) 2 C0 3 — 10-2 m/l, NH4 OH — 10-' m/1, NH4 CL — 10-2 m/1. A kezelést az említett oldatban 10 másodpercig végezzük 25 °C hőmérsékleten. A kezelés eredményeként a rézszulfidot csak a rézréteg homlok felületeiről távolítjuk el a réznek az említett oldatban történő maratása útján. Ezután a villamos vezető lapot az ily módon alkotott villamos vezető segédfóliával együtt 10 százalékos kénsavoldatban pácoljuk, majd áram alatt bór, -fluor, -hidrogén fürdőbe merítjük, aholis Dc = 2 A/dm 2 áramsűrűség mellett elektrolikus rézleválasztást végzünk. Ezt a kezelést 50 percig végezzük. Eredményképpen a közbenső részeket összekötő olyan villamos vezetékeket létesítünk, amelyeket elektrolitikusan fölvitt rézfóliák alakjában közvetlenül a többrétegű villamos vezető lapok fémrétegei között hoztunk létre. 6. példa Az 1. példa nyomán leírt többréteg-struktúrát az 10 1. példa alapján részletesen ismertetett oldatba merítjük, hogy ezáltal összefüggő palladiumfóliát kapjunk. A fürdőben egy magnetostrikciós berendezéssel ultrahang teret hozunk létre, amely ezen tér hatására a palladium fóliát az alábbi paraméterek betartásával hozza létre: 15 a rezgés frekvenciája 18 kHz, a magnetostrikciós berendezés mágnesező árama 18A, anódfeszültség 4,5 kV, kimenőfeszültség 250—280 V. Az említett kezelés eredményeképpen összefüggő vil-20 lamos vezető fólia keletkezik a furatok falaiban. Az említett fólia létrehozásának ideje megegyezik az 1. példában említett idővel, míg a fólia vastagsága ötször vékonyabb. Ezután a struktúrát az 1. példában leírt módon kezeljük. 7. példa Az 1. példában leírt többréteg-struktúrát a fém és 30 dielektrikum rétegek homlokoldalaira fölvitt palládiumfóliával együtt az alábbi oldatba mártjuk: (NH4 ) 2 S 2 O g - lm/l, H2 S0 4 — 10 * m/1; 35 Az oldatot ultrahang tér hatásának tesszük ki. Ennek paraméterei azonosak a 6. példában említett jellemzőkkel. Ezen utóbbi kezeléssel az összefüggő palládiumfólia homlokoldalain levő rézréteg porózus szakaszainak egyenletes tisztítását látjuk el. A tisztítási eljárást 5 má-40 sodpercig tartó kezeléssel végezzük. Ezt követően az elektrolitikus bevonat felvitelét az 1. példában leírt módon végezzük. 45 8. példa 100 X 100 mm területű, 5 egymást követő 0,35 mm vastag rézréteg és 4 kerámiából álló, 1 mm vastag dielektrikumból álló többréteg-struktúrák, amely 1 mm 50 átmérőjű 20 átmenőfurattal rendelkezik, és amelynek két szélső rézrétege lakkréteggel van bevonva és váltakozó áramú tápforráshoz van csatlakoztatva, az alábbi összetételű oldatba mártjuk: PdS04 — 5 • 10~3 m/1, 55 HCl — 10-2m/l. A struktúra kezelését ebben az oldatban 20 °C hőmérsékleten váltakozó áramú villamos térben végezzük, amelynek jellemzői a következők: 60 a tér frekvenciája 5 Hz, feszültség 2,5 V, áram 1 A. Az említett kezelés eredményeképpen összefüggő 65 villamos vezető palladium fólia jön létre, melynek vas-7
