169801. lajstromszámú szabadalom • Többréteg-struktúra és eljárás a többréteg-struktúra közbenső vezetőrétegeinek előállítására

15 169801 16 tagsága 100 nm, amely 2 percig tartó kezelés után jön létre. Ezt a struktúrát vízzel öblítjük, a palladium porózus részeit a rézréteg homlokfelületéről eltávolítjuk, majd egy elektrolitikus réteget hozunk létre az 1. példában leírt módon. 9. példa Az 1. példa kapcsán leírt többréteg-struktúrát összefüggő villamos vezető palladium fólia felvitele érdekében az 1. példa kapcsán leírt oldatba mártjuk két egymással párhuzamos, aranyozott 200 X 300 mm területű rézfólia között, amely a tápfeszültség forráshoz van kapcsolva. A tápforrás váltakozó áramú. A struktúrát az említett elektródáktól 20—20 mm távolságban helyezzük el. Az elektródákra 4,5 A áramerősségű váltakozó áramot adunk 4,8 V feszültség mellett. A struktúrát ebben az oldatban 20 percig kezeljük. A kezelés az oldat hőmérsékletét növeli és összefüggő villamos vezető palladium fóliát visz fel a furatok falaira. E fólia vastagsága 200 nm. A kezelés három és fél percig tart. Ezután a struktúrát az 1. példa kapcsán leírt módon kezeljük tovább. 10. példa A 4. példában említett többréteg-struktúrát összefüggő palladium fólia felvitele céljából az 1. példa kapcsán leírt módon mártjuk be az oldatba. A struktúrát két különálló, tápforráshoz kapcsolt lakkréteggel bevont rézelektróda közé, azokhoz igen közel helyezzük. Az említett lappal bevont szigetelt elektródákra 500 V feszültségű váltakozó áramot adunk és a vezetőlapot ilyen körülmények között 25 °C hőmérsékleten tartjuk az oldatban. A kezelés eredményeképpen a vezetőlap furatainak falán egyenletesen 20 nm vastagságú palladiumfólia jön létre 4,4 perc alatt. A villamos vezetőlap további kezelését, valamint a közbenső villamos átvezetéseket az 1. példa kapcsán leírt módon hozzuk létre. Szabadalmi igénypontok 1. A nagy mechanikai szilárdságú és javított villamos vezetőképességű többréteg-struktúra, előnyösen többrétegű nyomtatott áramköri lemez, amely fémrétegekből és dielektrikum-rétegekből áll és e rétegek között villamos vezető összeköttetések vannak kialakítva, azzal jellemezve, hogy a villamos vezető rétegek homlokfelületei közötti villamos vezető összeköttetések közvetlenül a többréteg-struktúra fémrétegeinek homlokfelületén galvanikusan kialakított fémfóliából állnak, és ezáltal meg nem bontható villamos vezető öszszeköttetést alkotnak. 2. Az 1. igénypont szerinti többréteg-struktúra kiviteli alakja azzal jellemezve, hogy a dielektrikumrétegek (2) homlokoldalai közbenső áramvezető (4) rétegekkel vannak bevonva pótlólagos fémrétegek (1') útján, amelyek a struktúra (1 és 2) rétegeivel párhuzamosan vannak elrendezve, részekre vannak osztva és vastagságuk a legvékonyabb dielektrikum-réteg (2') vastagságával azonos. 3. Eljárás az 1. és 2. igénypontok bármelyike szerinti többréteg-struktúrák közbenső áramvezető rétegeinek kialakítására, amelynek során villamos vezető segédfóliát képezünk a fémréteggel bevonandó dielektrikum-5 rétegek felületein elektrolitikus leválasztással a fémfólia kialakítására, azzal jellemezve, hogy a segédfóliát (3) a többréteg-struktúrának olyan oldatban való kezelésével hozzuk létre, amely oldat fémionokat tartalmaz, és e fémionok a fémek feszültségi sorában pozi-10 tívabb fémek, mint a fémréteg (1) fémjei; és továbbá hogy a többréteg-struktúrát ebben az oldatban egy öszszefüggő villamos vezető fémfólia kialakulásáig kezeljük oly módon, hogy ez az oldat ezen fémfólia (5) ionjait tartalmazza, és hogy a struktúra bevonandó teljes felü-15 letét az oldatba mártjuk, miáltal a dielektrikum felületen monolitikus struktúrát, a fémfelületen porózus struktúrát hozunk létre, majd ezután a többrétegstruktúrát olyan oldatban kezeljük, amely a fémrétegek (1) fémjével, ill. a fémrétegek (1) fémjével és az 20 összefüggő villamos vezető fémfólia (5) porózus szakaszaival szelektív kölcsönhatásban van és ezáltal a kölcsönhatás folytán a fémrétegek (1) összefüggő villamos vezető fémfóliájának (5) porózus struktúráját eltávolítjuk. 25 4. A 3. igénypont szerinti eljárás foganatosításának módja, azzal jellemezve, hogy a többréteg-struktúra dielektrikum rétegeinek (2) homlokoldalait a segédfólia (3) kialakítását megelőzően érzékenyítő oldatban kezeljük. 30 5. Eljárás az 1. vagy 2. igénypontok szerinti többréteg-struktúrák közbenső villamos vezető rétegeinek kialakítására, melynek során a fémmel bevonandó dielektrikum rétegek felületén villamos vezető segédfóliát alakítunk ki egy fém elektrolitikus leválasztásával, az-35 zal jellemezve, hogy a segédfóliát (3) a többrétegstruktúrának olyan oldatba való bemártásával hozzuk létre, amely oldható komplex sókat, fémsókat, a pH érték beállítására szolgáló adalékanyagokat, kalkogenid anyagokat tartalmaz; és hogy a többréteg-struktúrát 40 ebben az oldatban összefüggő villamos vezető fémkalkogenid fémfólia (6) keletkezéséig az oldatba mártva kezeljük, majd ezt követőleg egy olyan oldatban kezeljük, amely a fémrétegek (1) fémjével, ill. a fémrétegek és a fémkalkogenid fólia részek fémjével szelektív köl-45 csönhatásban áll, miáltal a fémrétegek (1) homlokoldalain levő fémkalkogenid fólia részeket eltávolítjuk. 6. Az 5. igénypont szerinti eljárás foganatosításának módja, azzal jellemezve, hogy a segédfólia (3) ki-50 alakítását megelőzően a többréteg-struktúra dielektrikum rétegeinek (2) homlokoldalait olyan oldattal kezeljük, amely változó vegyértékű fémek ionjait tartalmazza. 7. Az 5. vagy 6. igénypontok szerinti eljárás foganatosításának módja, azzal jellemezve, hogy a struktú-55 rát, amelyet az összefüggő villamos vezető fóliának (6) a fémréteg felületéről való eltávolítására az oldatba merítünk, előzetesen 35—400 °C hőmérsékleten hőkezeljük. 8. Az 5. vagy 6. igénypontok szerinti eljárás foganato-60 sításának módja, azzal jellemezve, hogy a többréteg-struktúrát villamos vezető segédfólia (3) kialakíkítását megelőzően 35—400 °C hőmérsékleten hőkezeljük. 9. A 3. vagy 5. igénypontok szerinti eljárás foganato-65 sításának módja, azzal jellemezve, hogy az össze-8