169801. lajstromszámú szabadalom • Többréteg-struktúra és eljárás a többréteg-struktúra közbenső vezetőrétegeinek előállítására
11 169801 12 lett a monolitikus palladium fólia vastagsága a dielektrikum vastagságánál 200 nm értéknél nem nagyobb. Az ilyen módon kezelt struktúrát az említett oldatból kiemeljük, folyóvízben 1 percig öblítjük, majd a következő összetételű oldatba mártjuk: H2 0 2 — 4 m/l; H2 S0 4 — 10"' m/l; A struktúrát 30 °C hőmérsékleten 20 másodpercig kezeljük mindaddig, míg az összefüggő villamos vezető palladium fólia részek — amelyek porózus struktúrájúak — teljesen le nem válnak. Az említett kezelés eredményeképpen a palladium fólia részbeni eltávolításával villamos vezető segédfóliát hoztunk létre a struktúra rézrétegeinek homlokfelületén. Emellett a palladium fólia az üvegepoxi rétegek homlokfelületein változatlanul megmaradnak. Az említett kezelés után a struktúra furatainak falaiban átmenő villamos összeköttetést hoztunk létre. Az ilyen módon kezelt többréteg-struktúrákat folyóvízben 2 percig öblítjük, a védő lakkrétegtől megtisztítjuk, majd elektrolitikus metallizáció céljára a struktúra külső felületeit sorjátlanítjuk, 10 százalékos kénsavoldatban pácoljuk. Ezután vízzel öblítjük és az elektrolitikus rézbevonat kialakítása céljából bórfluorhidrogén fürdőbe helyezzük, amelyben áramot vezetünk. A struktúrát 45 percig kezeljük Dc = 3 A/dm 2 katódáramsűrűség mellett. Az említett kezelés eredményeképpen a többrétegstruktúra közbenső átvezető réteg furataiban réz válik le, amely elektrolitikus rézfóliát alkot, amelynek vastagsága 0,045 mm. E rézfólia közvetlenül az említett struktúra rézrétegeinek homlokfelületeire rakódik föl és össze van kötve palladium segédfólia üvegepoxi dielektrikumának homlokoldalával. " 2. példa Az 1. példa során ismertetett többréteg-struktúrát az összefüggő villamos vezető fólia kialakítása céljából az oldatba való bemártást megelőzően érzékenyítő fürdőbe helyezzük. Ennek összetétele a következő: SnCl2 • H2 0 — 3-10-' m/l, HCl •— 1 m/l; A struktúrát 25 °C hőmérsékleten 2 percig tartjuk a fürdőbén. Az említett kezelés következtében összefüggő palladium fólia keletkezik az előző példához képest kb. tízszer kevesebb idő alatt. Valamennyi további műveletet az 1. pld. szerint végezzük. 3. példa 480 X 320 mm területű többrétegű nyomtatott lemezből álló struktúrából indulunk ki. Ennek vastagsága 3,5 mm és 16 rétegből áll. A struktúra 3000 furattal rendelkezik. A furatok mérete 0,8 mm, amelyeknek falai a nyomtatott huzalozású lap egyenlőtlen elosztású csatlakozóinak megfelelően különböző homlokoldalakon van elhelyezve. A vezető lapok továbbá réz homlokóldalakkal is rendelkeznek, amelyek a nyomtatott kapcsolástól el vannak választva, és egymással össze nem kötött pótlólagos érintkező felületek alakjában a nyomtatott huzalozású lap valamennyi rétegén úgy vannak elosztva, hogy a furatok falai egyenetlenül egymást követő réz homlokoldalakkal — melyeknek vastagsága 5 0,035 mm — és 0,5 mm vastagságú üvegepoxi dielektrikumot tartalmaznak — rendelkeznek. Az oldatba érzékenyítő szert adagolunk, mint ahogy ezt a 2. pld. esetében ismertettük, majd a nyomtatott huzalozású lapokat folyóvízben öblítjük, majd ezt követőleg a kö-10 vetkező összetételű fürdőbe merítjük: AgN02 — 5 • ÍO-2 m/l, NH4 OH — 7 m/l; A struktúrát 20 °C hőmérsékleten összefüggő ezüst-15 fólia keletkezéséig kezeljük. Ez az ezüstfólia a réz homlokoldalain porózus szerkezetű, a dielektrikum homlokoldalain pedig monolitikus. Ezután a nyomtatott huzalozású lapot az oldatból kiemeljük, öblítjük, majd a következő összetételű ol-20 datba merítjük: CuCl2 • 2H2 0 — 1,5 m/l, HCl — lm/l; A nyomtatott huzalozású lapot 25 °C hőmérsékleten 25 25 másodpercig kezeljük ebben az oldatban. Az említett kezelés eredményeképpen a nyomtatott huzalozású lap valamennyi furatának falai mentén villamos vezető segédfólia jön létre, amelynek anyaga ezüst. A dielektrikum homlokfelületein az ezüstfólia monolitikus, mert 30 az összefüggő ezüstfóliának csak a porózus részeit távolítottuk el a furatfalakban levő rézrétegek homlokfelületeiről. Emellett azonban a furatok falaiban levő összefüggő vezetőréteg jó villamos vezetőképességű, miáltal a példa nyomán részletesen ismertetett elektroliti-35 kus rézfelvitel megvalósítható. A közbenső vezető rétegeket, amelyek elektrolitikus úton kialakított rézfóliákat jelentenek, egységes egészként alakítjuk ki a nyomtatott huzalozású lapok furatának falában levő rézhomlokfalakkal együtt, miáltal az egész nyomtatott 40 huzalozású lap pótlólag a közbenső vezető rétegek mélyedései útján valamennyi réteg mentén mindenütt vastagabbá válik. 4. példa 200 X 200 mm területű, 2,2 mm vastagságú többrétegű nyomtatott huzalozású lapot, — amely 10 rétegű 800 50 furattal rendelkező villamos kapcsolás, és ahol a furatok átmérője 1 mm, a falat pedig réz és poliamid dielektrikum rétegek egymásra rétegelve alkotják — az alábbi összetételű oldatba mártjuk: Pb (CH3 COO) 2 — 101 m/l, 55 KOH — 1 m/l, CS(NH2 ) 2 — 5 • 10-• m/l. A kezelést 25 °C hőmérsékleten 30 percig végezzük az oldatban. 60 Eredményként a dielektrikum homlokoldalaiban levő furatok falai villamos vezető ólomszulfid fólia bevonatot kapnak, amelynek vastagsága 200 nm. A rézréteg homlokoldalai előnyösen rézszulfid fólia bevonatot kaptak. Ezután a nyomtatott huzalozású lapot öblítjük, majd 65 az alábbi összetételű oldatba mártjuk: 6
