169801. lajstromszámú szabadalom • Többréteg-struktúra és eljárás a többréteg-struktúra közbenső vezetőrétegeinek előállítására

169801 3 4 előállítására alkalmazott eljárás során az alkáli oldattal kezelt struktúra elkerülhetetlenül a fémrészek oxidációját okozza. Ez az oxidáció a villamos vezető segédfólia árammentes kiválasztását megelőzően jön létre. Ilyen esetben a villamos vezető segédfólia mellett még egy oxidréteg is keletkezik, amely a struktúra fémrétegét a villamos vezető segédfóliától szigeteli. Ez a szigetelő réteg a fém közbenső vezetőréteg egyik alkotó elemét képezi. Ismeretesek olyan eljárások is réz és dielektrikum rétegek egymás utáni elhelyezésével kialakított többréteg-struktúrák közbenső vezetőrétegének kialakítására, ahol a fémes közbenső vezetőrétegeket alkáli oldatokból kiválasztott vastag rézréteg bevonattal képezik, és ugyanakkor a fémfólia elektrolitikus kezelését is egyben elvégzik. Valamennyi ismertetett eljárásnál a villamos vezető segédfóliát a többréteg-struktúra fém vezetőrétegeinek előállítására alkalmazzák, és e fémfóliát elektrolitikus úton állítják elő. A közbenső vezetőrétegek egyik alkotó elemét a villamos vezető segédfólia alkotja, amennyiben a fémréteg az elektrolitikusan kiválasztott fémfólia fölött helyezkedik el. A villamos vezető segédfóliák előállítására szolgáló említett eljárások hátránya az, hogy igen költséges oldatokat igényelnek, amelyek többé-kevésbé a redukáló anyag bevitele folytán stabilitásukat elvesztik. Ugyancsak drága és költséges a villamos vezetőképességű ragasztóanyag, vagy a lapok alkalmazása. Célunk a többréteg-struktúrák előállításának új módja, amely azonban az említett hátrányoktól mentes. Az a célunk, hogy a többréteg-struktúrák közbenső vezetőrétegének előállítására olyan eljárást javasoljunk, amely az említett hátrányokat kiküszöböli. Célunk, hogy a találmány szerinti többréteg-struktúra, amely fém és dielektrikum rétegek sorából áll és amely a fémrétegek közbenső vezetőrétegeit is tartalmazza, a többréteg-struktúra fémrétegei között stabil és minimális ellenállásértékű áramvezető összeköttetést biztosítson. Egy további célkitűzés az, hogy a többrétegstruktúra fémrétegei homlokoldalainak összekötési pontjai igen nagy szilárdságúak legyenek. Célunk továbbá, hogy a többréteg-struktúrák előállításához alkalmazott eljárás igen stabil és kevéssé költséges metallizáló oldatok felhasználását tegye lehetővé a villamos vezető fém segédfóliák előállítására, nem oldható villamos vezető összeköttetések létrehozására a többréteg-struktúrák dielektrikum rétegeinek homlokoldalain, hogy ezáltal a villamos vezető segédfóliák a fém elektrolitikus kiválasztását közvetlenül a struktúra fémrétegeinek homlokoldalaira való közvetlen leválasztása útján tegyék lehetővé. A feladatot úgy oldjuk meg, hogy az egymásra rétegezett fém és dielektrikum struktúra közbenső villamos vezető rétegeit, valamint elektrolitikus úton kiválasztott fémrégetek közbenső összekötő rétegeit a találmány szerint a többréteg-struktúrát, mint szerkezeti egységet a fémréteg homlokoldalával együttesen alakítjuk ki. Kívánatos, hogy azok a dielektrikum réteg homlokoldalak, amelyek a közbenső vezetőrétegekkel vannak fedve, egymástól olyan pótlólagos fémréteggel legyenek elválasztva, amelyek a struktúra rétegeivel párhuzamosan helyezkednek el azokban a részekben, amelyeknek vastagsága a legvékonyabb dielektrikum réteg vastagságávalazonos. A feladatot oly módon oldjuk meg, hogy a többrétegstruktúra közbenső vezető rétegeinek előállítására szolgáló eljárás során villamos vezető segédfóliát alkotunk, amelyet a dielektrikum réteg felületére választunk le. 5 E réteget fémfóliának elektrolitikus leválasztásával alkotjuk oly módon, hogy a találmány szerint a segédfóliát a többréteg-struktúrának egy olyan oldatba való bemerítése útján hozzuk létre, amely valamely fém ionjait tartalmazza. Ezen említett fém a fémek feszültsé-10 gi sorában pozitívabb, mint a többréteg-struktúra fémrétegének fémje. A struktúrát ebben az oldatban összefüggő villamos vezető fémfólia létrejöttéig kezeljük. Az ionok az oldatban a metallizálandó felületen helyezkednek el. A fólia monolitikus struktúrájú, a die-15 lektrikum réteg ezen felületein, és porózus struktúrájú a fémes felületeken. Ezután a struktúrát olyan oldattal kezeljük, amely a fémrétegek fémjével, ill. a fémrétegek fémjével és az összefüggő villamos fólia porózus szakaszaival szelektív kölcsönhatásban vannak, hogy 20 ezáltal a fémrétegről az összefüggő villamos vezető fólia azon részeit el lehessen távolítani, amelyek porózus struktúrát alkotnak. A segédfólia kialakítását megelőzően célszerű, ha a többréteg-struktúra dielektrikum rétegeinek homlok-25 oldalait érzékenyítő szerrel kezeljük. A kitűzött feladatot továbbá oly módon is megoldhatjuk, hogy a többréteg-struktúrák közbenső vezető rétegének kialakítására szolgáló eljárás során a villa-30 mos vezető segédfóliát, amelyet a dielektrikum rétegek felületén hozunk létre, fémfólia elektrolitikus leválasztása útján, a találmány szerint úgy alkotjuk, hogy segédfóliát hozunk létre azáltal, hogy a többrétegstruktúrát olyan oldatba merítjük, amely oldható komplex sókat, 35 fémek sóit és adalékanyagokat tartalmaz a pH érték beállítására, valamint kalkogenid anyagokat is tartalmaz, és a struktúrát az említett oldatban annyi ideig tartjuk, amíg fémkalkogenidok a teljes metallizálandó felületen összefüggő villamos vezető fémfóliát nem hoz-40 nak létre. Ezt a struktúrát aztán olyan oldattal kezeljük, amely a fémrétegek fémjével, ill. a fémkalkogenid fólia részekkel szelektív kölcsönhatásban van, hogy ezáltal a fémkalkogenid részeket eltávolíthassuk a fémrétegek homlokoldalán. 45 Ebben az esetben célszerűen a többréteg-struktúra homlokoldalán kialakítandó segédfólia előállítását megelőzően a többréteg-struktúrát olyan oldattal kezeljük, amely váltakozó vegyértékű fémionokat tartalmaz. Ezen kívül célszerű, ha a struktúrát az oldatba való 50 bemerítés előtt — a fémrétegek homlokoldalain az összefüggő villamos vezető fólia szelektív szakaszainak eltávolítását megelőzően —35--4O0 °C hőmérsékletű hőkezelésnek vetjük alá, ill. a struktúrát a villamos vezető segédfólia kialakítása után 35—400 °C hőméc-55 sékleten hőkezelésnek vetjük alá. A közbenső vezetőrétegek kialakítására fentebb említett bármelyik eljárás során célszerű, ha az összefüggő villamos vezető fólia kialakítását váltakozó villamos térben alakítjuk ki. 60 A váltakozó villamos teret a struktúra fémrétegeire adott villamos váltakozó áram útján hozhatjuk létre. Váltakozó villamos teret oly módon is előállíthatunk, ha a váltakozó áramot azokra az elektródákra kapcsoljuk, amelyek az összefüggő villamos vezető fólia ki-65 alakítása érdekében az oldatba be vannak merítve, 2