169801. lajstromszámú szabadalom • Többréteg-struktúra és eljárás a többréteg-struktúra közbenső vezetőrétegeinek előállítására

5 169801 6 és a struktúra különböző oldalai mentén vannak elhelyezve. Bármelyik korábban említett eljárással kialakított közbenső vezető réteget ultrahang térben is előállíthatunk. Ugyancsak célszerű, ha a közbenső vezető rétegek kialakítására az összefüggő villamos vezető fóliát a fémek feszültségi sora szerint pozitívabb fémből állítjuk elő, mint amilyen a fémrétegek fémje, amely az oldatban a következő elemeket tartalmazza: palládiumsó — 0,0005—0,5 m/l, rezsó — 0,0005—0,5 m/l, szervetlen sav — 0,01—1,0 m/l, ill. olyan oldat, amely a következő elemeket tartalmazza: ezüstsó — 0,0005—0,5 m/l, NH4

OH — 0,1—12,5 m/l. A közbenső vezetőrétegek kialakítására szolgáló eljárás során az összefüggő villamos kalkogenid fémfólia előállítására az is célszerű, ha olyan oldatot alkalmazunk, amely az alábbi elemeket tartalmazza: ólom komplex sói — 10~3

—10 ' m/l, lúgok — 10"2

— 5 m/l, tiokarbamid — 10~3

— 1 m/l, ill. az említett fólia kialakítására az alábbi elemek is felhasználhatók: rezsó — 10~3

—10 ' m/l, nátriumacetát — 10 '— 5 m/l, tiokarbamid — 10~3

— 1 m/l. A találmány szerinti többréteg-struktúra, amely fém és dielektrikum rétegekből áll és a fémrétegek között közbenső vezető rétegeket tartalmaz, aholis a fémfóliák elektrolitikusan leválasztott fémet tartalmaznak, és ahol a közbenső vezetőrétegek egységesen a fémrétegek homlokoldalán vannak kialakítva — igen nagy mechanikai szilárdságú, nagyon stabil, minimális villamos ellenállású közbenső vezető rétegekkel rendelkezik. A többréteg-struktúra egyik kiviteli változata szerint, ahol a dielektrikum rétegek homlokoldalait a közbenső vezető rétegek fedik és pótlólagos fémrétegek, amelyek a struktúra rétegeivel párhuzamosak, részekre vannak osztva, vastagságuk a legvékonyabb dielektrikum réteg vastagságával azonos, azzal az előnnyel rendelkeznek, hogy a közbenső vezető rétegek egységes szerkezetet alkotnak a fémrétegek homlokoldalával, és ily módon a többréteg-struktúra, amely dielektrikum és fémrétegekből áll, a legkedvezőtlenebb üzemi körülmények között is szilárdság szempontjából ellenállóképes. A közbenső vezetőrétegek kialakítására szolgáló eljárás során a fémfóliákat fém elektrolitikus leválasztásával alkotjuk és a leválasztást közvetlenül a struktúrát alkotó rétegek homlokfelületén hozzuk létre. Ezzel a következő előnyöket biztosítjuk: Mivel a villamos vezető segédfóliát csupán a metallizálandó szigetelő réteg felületére lehet fölvinni, elektrolitikus úton való fémfólia kialakítás közvetlenül a többréteg-struktúra fémrétegeinek homlokoldalán lehetséges. Összefüggő villamos vezető fóliának kialakítása a fémek feszültségi sorában pozitívabb fémből, mint a fémréteg fémje, azon fémre való ráfordítás szempontjából kisebb, amelyből az összefüggő villamos vezető fóliát alkotjuk, mivel az összefüggő villamos vezető fólia vékonyabb, valamint az összefüggő villamos vezető 5 fóliának a metallizálandó felülethez viszonyított kisebb területe miatt. Emellett az oldatra történő ráfordítás is kisebb. Összefüggő villamos vezető fóliának fém kalkogenidből való kialakítására az oldat elemeit tekintve könnyen beszerezhető réz, ólom, nikkel és más hasonló 10 anyagok oldható sóit alkalmazzuk, amelyek más összetevőkkel, mint pl. hidroxil ionokkal, acetát ionokkal és hasonló olcsón, könnyen beszerezhető anyagok a VI b csoport elemeivel oldható vegyületet képeznek. Ilyen vegyületek a kénhidrogén, nátriumszulfit, szelénszulfát, 15 tioszulfát, szelénkarbamid, tiokarbamid, tioszemikarbamid stb., amelyeknek az említett fémek komplex sóival való kölcsönhatása az oldatban összefüggő villamos vezető fóliáknak nehezen oldható sókból való előállítására, és a metallizálandó felületre való leválasz-20 tására alkalmasak. Az említett eljárás előnye még az is, hogy az igen egyszerű eszközökkel valósítható meg, az oldat alkotóinak gazdaságos kihasználása is igen előnyös. További előnyt jelent, hogy a többréteg-struktúrák nagysorozat 25 gyártásában — amelyeknél közbenső vezető rétegek kialakítása szükséges — az előállítás során igen nagyfokú a reprodukálhatóság. Az említett eljárás legfontosabb előnye, hogy a többréteg-struktúráknál, ahol a közbenső vezető rétegeket 30 elektrolitikusan leválasztott fémfóliák alkotják, e fémrétegek a fémrétegek homlokoldalával egységet alkotnak, ami a találmány szerinti többréteg-struktúrák részére igen nagy mechanikai szilárdságot és- igen jó villamos paramétereket biztosít. 35 A találmány példakénti kiviteli alakját az alábbiakban rajz alapján ismertetjük részletesen. A rajzon az 1. ábra a találmány szerinti réteges struktúra axonometrikus képét szemlélteti metszetben. A 2. ábra egy másik kiviteli változatot szemléltet 40 ugyancsak axonometrikus ábrázolásban keresztmetszetben. A 3a, 3b, 3c és 3d ábrák a közbenső vezető rétegek előállítására szolgáló eljárás egyes lépéseit szemléltetik vázlatosan. 45 A 4a, 4b, 4c és 4d ábrák a közbenső vezető rétegek előállítására szolgáló eljárás egy kiviteli változatát szemléltetik. Az 1. ábrán látható a réteges struktúra 1 fémrétege, amely a 2 dielektrikum rétegtől el van választva, továbbá 50 a villamos vezető 3 segédfóliát szemlélteti, végül pedig a 4 közbenső vezetőréteget ábrázolja, amely elektrolitikusan leválasztott fémfólia és amely egységes egész^ ként van kialakítva a többréteg-struktúra 1 fémrétegének oldalán. 55 A 2. ábrán látható többréteg-struktúra az 1. ábra szerinti többréteg-struktúrától abban különbözik, hogy a 2 dielektrikum réteg homlokoldala 4 közbenső vezető réteggel van fedve, amely pótlólagos 1' fémréteg, és amely párhuzamos az 1 fémréteggel és a 2 dielektrikum réteg-60 gel, és amelynek vastagsága a legvékonyabb 2' dielektrikum réteg vastagságával azonos. A többréteg-struktúrák 1 és 1' fémrétegei, amint az az 1. és 2. ábrán látható, olyan fémből alakíthatók ki, amelyeket a fémek alábbi sorából választhatjuk ki: 65 Cu, Ag, Zn, Al, Pb, Sn, Ti, Fe, Ni. 3