163785. lajstromszámú szabadalom • Eljárás testeknek szigetelő anyagokkal történő bevonására
MAGYAR NÉPKÖZTÁRSASÁG ORSZÁGOS TALÁLMÁNYI HIVATAL SZABADALMI LEÍRÁS Bejelentés napja: 1972. II. 1. (Sí-1242) Német Szövetségi Köztársaság-béli elsőbbsége: 1971. II. 3. (P 21 05 003.3) Közzététel napja: 1973. V. 28. Megjelent: 1975. VI. 30. 163785 Nemzetközi osztályozás: H01 b-3/24 C 08 M/22 Feltalálók: Dr. Kobale Manfred fizikus, München Pachonik Horst oki. fizikus, Unterhaching Német Szövetségi Köztársaság Tulajdonos: Siemens Aktiengesellschaft, München Német Szövetségi Köztársaság és Nyugat-Berlin Eljárás testeknek szigetelőanyagokkal történő bevonására 1 A találmány tárgya eljárás testeknek szigetelőanyagokkal való bevonására, ahol a bevonandó testet, különösen folyamatos eljárás során, valamely reakciótérben váltakozó feszültséggel létesített villamos kisülések hatásának teszik ki olyan 5 polimerizálható gáz- vagy gőzalakú fluorszénhidrogének jelenlétében, amelyek az említett kisülés hatására polimer, illetve nagymolekulájú vegyületeket képeznek, mimellett mind a két szembenfekvő kisülési elektróda közvetlen közelében egy-egy be- 10 vonandó testet vezetnek el. Az Amerikai Egyesült Államok 3 068 510 sz. szabadalmi leírása ismertet ilyenfajta eljárást, ennél az ismert eljárásnál azonban mindig anyagkeveréket vezetnek a reakciótérbe, amelyet előnyö- 15 sen politetrafluoretilén bomlása révén kapnak. Ily módon viszonylag csekély mechanikai szilárdsággal rendelkező rétegek keletkeznek, ezen túlmenően a monomer fluoretilén erősen robbanékony, így nem tisztítható minden további nélkül és táró- 20 lása is nehézségekbe ütközik. Ezenkívül — némiképpen szilárd rétegek képzése érdekében — a politetrafluoretilént temperálni kell, ami igen költséges. Találmányunk feladata olyan eljárás kidolgozása volt, amely lehetővé teszi jó dielektromos tu- 25 lajdonságokkal rendelkező, nedvességre kevéssé érzékeny vékony szerves szigetelőanyag-rétegek előállítását, egyszerű műszaki eszközökkel, különösen kondenzátordielektrikumként való alkalmazás céljára. 30 Ezt a feladatot a találmány szerint úgy oldjuk meg, hogy a reakciótérbe gázalakú hexafluorpropilént (CF2 = CFCF 3 ) viszünk be. A találmányunk szerinti eljárásnak az az előnye, hogy pórusmentes és rendkívül vékony (mintegy 50 nm) szigetelőanyagTrétegek állíthatók elő. Azok a szigetelőanyag-rétegek, amelyeket a találmány szerint az említett anyagból állítanak elő, mentesek a technika állása szerint alkalmazott perfluorozott műanyagok ismert hátrányaitól; különösen előnyös, hogy magasabb hőmérsékleten nem hajlamosak a folyásra. A találmányunk szerinti szigetelőanyag-rétegek jobb alaktartósággal is rendelkeznek és az ebből előállított testek ellenállnak külső erők behatásának. A találmányunk szerint hexafluorpropilénből előállított polimerizációs rétegek veszteségi tényezője kicsi, mintegy 1,10~3 , 1 kHz-nél 25 C°-on. Ez abból adódik, hogy a glimmkisülés során csaknem kizárólag a kettőskötések felbontása és az ezt követő polimerizáció megy végbe-: F FFCF C=C -F F F F F FCF F FCF -C—C—C—C— F F F F 163785 1
