163785. lajstromszámú szabadalom • Eljárás testeknek szigetelő anyagokkal történő bevonására

163785 3 4 A találmányunk szerinti eljárásnál térhálósodás megy végbe. A térhálósodás a CF3-csoportok leválásával és oldalláncok ezt követő kialakulásával értelmezhető. Mivel atomos és kismolekulájú krakkolási termékek nem keletkeznek, ennélfogva a reakciógáz összetétele állandó, így a kisülési és leválási körülmények jól áttekinthetők. A glimmkisülés csak a maximális térerősség tartományában következik be. A hexafluorpropilént a reakciótérbe gázalakban visszük be, ez az anyag ugyanis szobahőmérsékleten gázhalmazállapotú. A hexafluorpropilén-gáz bevitelét a reakciótérbe szelepeken keresztül jobban szabályozhatjuk, mint a folyékony anyagok bevitelét. A hexafluorpropilén nem mérgező és palackokban túlnyomáson szobahőmérsékleten szállíthetó. A találmányunk szerint előállított rétegek különösen csekély vízfelvétellel, kis veszteségtényezővel (3,lQr3

1 kHz-nél) és nagy hajlékonysággal tűnnek ki. A. testeket viszonylag vastag (körülbelül l/(xm) szigetelőrétegekkel is kifogástalanul bevonhatjuk. A találmányunk szerinti polimerizációs rétegek nagy tartós hőállósággal (minimálisan 150 C°) rendelkeznek és éghetetlenek. A találmányunk szerinti szigetelőanyagok alkalmazási lehetősége sokrétű, használhatók huzaltárolók szigetelésére, félvezetők felületének passziválására és integrált áramkörökben szigetelési célokra. Ezenkívül tárolóelemek vagy egyéb villamos építőelemek vonhatók be a találmányunk szerinti réteggel. A találmányunk szerinti bevonatok különösen kondenzátorok dielektrikumaként alkalmazhatók. Dielektrikumként alkalmazhatók regenerálandó kondenzátorokban is, mivel a teljesen fluorozott műanyagok kiváló regeneráló tulajdonságokkal rendelkeznek. Találmányunkat a rajzok alapján kiviteli példán ismertetjük közelebbről. Az 1 tartályban vannak — meghatározott, például 0,1 és 3 Torr közötti nyomáson — a monomerek, amelyekből a polimerizációs rétegek glimmkisüléssel előállíthatók. Eközben a 2 és 3 tárolóhengerekről fémmel bevont 4 és 5 műanyagfóliák csévélődnek le, amelyeket sík, 6 és 7 glimmelektrődák felületein vezetünk el. A fóliák közvetlenül felfekszenek a glimmelektrődák felületeire. Az elektródákra váltakozó feszültséget kapcsolva, glimmkisülés következik be a két elektróda közötti térben. Fémmel bevont műanyagfóliák bevonásánál 100 kHz —10 MHz frekvenciájú váltakozó feszültséget alkalmazunk, ezáltal az elektródák felülete ós a fémbevonat közötti, a műanyagfóliától eredő kapacitást ellensúlyozzuk. Fémfóliák bevonásánál elég 50 Hz és 500 kHz közötti frekvenciájú váltakozó feszültség alkalmazása. A frekvenciát az anyagtól, illetve a bevonandó hordozóanyag vastagságától függően választjuk meg. Az elektródák felületére közvetlenül felfekvő fóliákon polimerizációs rétegek képződnek a tartályban levő monomerekből. A polimerizációs 5 rétegek a fóliák egymással szembenfekvő felületein alakulnak ki. A fémmel bevont 4 és 5 műanyagfóliákat úgy vezetjük a két elektróda közötti reakciótérbe, hogy a fémmel bevont felületek egymással szemben helyezkednek el és á műanyagfelületek 10 az elektródák felületein felfekvőén- csúsznak. A polimerizációs rétegek a fémmel bevont felületeken . képződnek. Mivel az elektródák felületeit az ezeken vezetett fémmel bevont műanyagfóliák teljesen lefedik, az elektródák felületein nem képződhet 15 polimerizációs réteg és a glimm-berendezés hosszú időn keresztül üzemeltethető. A polimerizációs rétegek, felvitele után a műanyagfóliákat a 8 és 9 tárolóhengerekre csévéljük fel. Ezeket a tekercseket a 10 motor a 11, 12 tengelyen és a 13 hajtóműn 20 keresztül hajtja. A polimerizált szigetelőréteggel már rendelkező fémmel bevont műanyagfóliák a polimerizálás után közvetlenül villamos kondenzátorokká tekercselhetők, ahol a polimerizációs rétegek egymáson helyezkednek el. Az egész beren-25 dezés, vagyis s tárolóhengerek és a kisülő elektródák, a tartályban helyezkednek el. Az elektródák szembenfekvő felületei az ábrákban szemléltetett sík felületekről eltérő alakúak is 30 lehetnek. Az elektródák előnyösen együttforgó hengerekként is kiképezhetők, amelyeken keresztül a bevonandó fóliákat meghatározott körülfogási szöggel vezethetjük, ezáltal a bevonandó fólia mechanikai igénybevétele csökken. A glimmkisü-35 léshez szükséges feszültséget csúszó érintkezők felhasználásával biztosítjuk. Rögzített, egymással szemben ívalakú felülettel elhelyezkedő elektródákat is alkalmazhatunk. Az elektródák hűthetők, ezáltal a glimmkisülés konstans hőmérsékleten 40 végezhető és a bevonandó test is mindig azonos hőmérséketen tartható. A 2. ábra a találmányunk szerinti megoldásnak megfelelő további kiviteli példát szemléltet. Kü-45 lönösen abban az esetben, ha fémmel bevont műanyagfóliákat vagy vékony fóliákat — amelyek még segódtartókon helyezkednek el — glimmpolimerizálás segítségével kívánunk szigetelő rétegekkel bevonni, úgy az ennek során keletkező felméle-50 gedés károsan hathat a fóliákra. Ennek a hátránynak a kiküszöbölésére a 4 és 5 bevonandó fóliákat több, egymás után kapcsolt glimmkisülési szakaszon vezetjük át, amelyek a 6, 7, 6', 7' és 6", 7" elektródákból állnak. Az egyes elektródák között 55 a fóliákat hőigénybevétel nem éri és ide például a 14,15,14', 15' vezető görgőkön keresztül vezethetők ; ezenkívül a vezető görgők hűthetők is. 60 Szabadalmi igénypontok 1. Eljárás testeknek szigetelőanyagokkal való bevonására, ahol a bevonandó testet, különösen 65 folyamatos eljárás során, váltakozó feszültséggel 2