162488. lajstromszámú szabadalom • Eljárás és berendezés szilicium vagy germánium félvezető anyagokat vagy ezen anyagok vegyületeit tartalmazó rugalmatlan szilárd testek meghatározott részének megfolyatására

5 ábra elölnézetben, a 3. ábra a 2. ábrán jelölt „A" nézetben oldalról mutatja a találmány szerinti eljárás foganatosítására szolgáló elrendezést. A meredeken eső feszültség — áramkarakterisztikájú áramforrás részei: Az 1 szabályozható fojtótekercs a kívánt ívfeszültség és áram beállítására szolgál, ezenkívül biztosítja a negatív karakterisztikájú ív beállított, stabil áramerősségű táplálását. A 2 transzformátor a hálózati feszültséget az ívfeszültségre transzformálja. A 3 egyenirányító alakítja át a váltakozó áramot egyenárammá. A 4 szabályozóberendezés a beállított feszültségen biztosítja az elektródák fogyása miatt szükséges utánállítás automatikus elvégzését, és gyújtja az ívet. Az 5 ellenállás az ív stabilizálására szolgál. Magát a megfolyatást a 6 elektródapár között húzott 7 nagyfeszültségű ív végzi. A találmány szerinti eljárás foganatosítására szolgáló berendezés egyik lehetséges kiviteli alakját mutatja sematikusan a 2. és 3. ábra. A megmunkálandó 8 szilárd testet a motorral hajtott 9 görgős szerkezet mozgatja egyenletes sebességgel a 10 irányban. A tartószerkezettel felfogott 6 eléktródapár között létesített 7 nagyfeszültségű ív a 8 szilárd test alsó síkját éri és képzi a 22 bevonatot. Az ív hosszát automatikusan a 4 szabályozóberendezés állítja. A találmány szerinti eljárással és berendezéssel az üzemeltetés az alábbiak szerint történik: A megmunkálandó 8 szilárd testet a tartó- és mozgatószerkezetre helyezzük, amely tartja a 8 szilárd test alatt elhelyezkedő 6 elektródapárt is, és a 8 szilárd test mozgatását pl. az elektromotorral hajtott 9 görgős szerkezettel biztosítja. Az 2 szabályozható fojtótekercs segítségével a 8 szilárd test szélességének és a kívánt minőségű felületnek megfelelő áram- és feszültségértéket állítjuk be. A 6 elektródapárt olyan távolságra állítjuk a 8 szilárd testtől, hogy a 7 nagyfeszültségű ív ne szakadjon meg. Ezután a hálózati feszültséget bekapcsolva az 1 szabályozható fojtótekercsen, 2 transzformátoron és a 3 egyenirányítón keresztül feszültség alá helyezzük a 6 elektródapárt. A 7 nagyfeszültségű ívet a 4 szabályozóberendezés gyújtja. Ezután a 9 görgős szerkezet állandó sebességgel és folyamatos mozgással a 10 irányban elindítja a 8 szilárd testet. A 7 nagyfeszültségű ív a felette levő 8 szilárd test felületét megfolyatja, s ezáltal képződik a 22 bevonat. A teljes felület megfolyatása 1 A kiadásért felel: a Közg; 6 után mind az ívtápláló, mind a mozgatóberendezést kikapcsolva a 22 bevonattal ellátott 8 szilárd testet kivesszük, és az eljárást újabb szilárd test behelyezése után tovább folytatjuk. 5 Mint látható az eljárás és berendezés alkalmas rugalmatlan szilárd testek nagyipari felületi hőkezelésére. Jó hatásfokkal, alulról az ív közvetlen érintésével folyatja meg a szilárd test felületét. A hosszú ív nagy feszültsége ellenére alio kalmazható, miután a találmány szerinti nagyüzemi termelés önműködően, közvetlen emberi beavatkozás nélkül történik. Az ív szabad levegőn vagy védőgázban ég, kemence építése nem szükséges. 15 A nagyfeszültségű ív egyenletes felületet éget. Használata gazdaságos, mivel a hatásfokot rontó katód- és anódveszteségek aránya többszörösen kisebb, mint a rövid ívnél. Az eljárással pl. tetszetős színezett épületele-20 méket nyerhetünk, vagy megoldható nagyáramú félvezető egyenirányítók és egyéb elektronikus elemek gyártásánál a felületi hőkezelés és szenynyezés. 25 Szabadalmi igénypontok 1. Eljárás szilícium vagy germánium félvezető anyagokat vagy ezen anyagok vegyületeit tar-30 talmazó rugalmatlan szilárd testek, pl. falburkoló és homlokzati épületelemek meghatározott részének megfolyatására, azzal jellemezve, hogy nagyfeszültségű áramforrás segítségével önmagában ismert módon az átütési feszültségnél kisebb 35 feszültségen is fennmaradó hosszú villamos ívet létesítünk, a szilárd testet a villamos ív megszakadásának meggátlását biztosító távolságra a villamos ív fölé helyezzük, a szilárd testet az ívvel teljes hosszában közvetlenül érintkezésbe 40 'hozzuk, majd a villamos ív és a szilárd test kölcsönös helyzetét konstans sebességgel változtatjuk. 2. Berendezés az 1. igénypont szerinti eljárás foganatosítására, azzal jellemezve, hogy nagy-45 feszültségre szigetelt, állítható távolságú elektródapárja (6), az elektródák irányára merőleges irányban a megmunkálandó szilárd testet (8) folyamatosan egyenletes sebességgel az elektródapár (6) felett mozgató villamos motorhajtású 50 görgős szerkezete (9i) és az elektródapár (6) távolságát az ív (7) feszültségének függvényében szabályozó berendezése (4) Van. rajz, 3 ábra és Jogi Könyvkiadó igazgatója. Győr-Sopron megyei Nyomdavállalat, Győr 74.2841