162488. lajstromszámú szabadalom • Eljárás és berendezés szilicium vagy germánium félvezető anyagokat vagy ezen anyagok vegyületeit tartalmazó rugalmatlan szilárd testek meghatározott részének megfolyatására
162 4S8 Nemzetközi osztályozás: B 23 k 9/00 R S T lobra ///////r/////////////*/////s 2. óéra A j*m A t-QB-» ffi L\ /////v?////////////////////;/////'/?//1 ///// 3 ábra
/
