161778. lajstromszámú szabadalom • Eljárás átvezetési áramra és veszteségi tényezőre meghibásodott mangándioxid félvezető katódú takondenzátorok és kondenzátor anódok regenerálására

MAGTAR NÉPKÖZTÁRSASÁG SZABADALMI LEÍRÁS SZOLGALATI TALÁLMÁNY 161778 #*•% Nemzetközi osztályozás: H 01 g 9/05 1^1 Bejelentés napja: 1971. IV. 23. , (TA—1117) ORSZÁGOS TALÁLMÁNYI HIVATAL Közzététel napja: 1972. V. 28. Megjelent: 1974. II. 28. Feltalálók: Kaposi Pál vegyészmérnök, 30%, Budapest, Haszmann Károly elektromérnök, 20%, Budapest, Krenn Lászlóné vegyész, 20%, Budapest, Kovács Lajos fizikus, 30%, Tatabánya Tulajdonos: Távközlési Kutató Intézet, Budapest Eljárás átvezetési áramra és veszteségi tényezőre meghibásodott mangándioxid félvezető katódú Ta kondenzátorok és kondenzátor anódok regenerálására 1 A találmány tárgya eljárás tantál porból zsugorított anóddal készült, mangánnitráttal impregnált, mangándioxid félvezető katódú, hibás kondenzátorok regenerálására. Ismeretes, hogy a mangándioxid félvezető ka- 5 tódú zsugorított anódú tantál kondenzátorok a következő módon készülnek. A tantál port kötőanyag hozzáadásával anódtestté préselik, az anódokat magas hőmérsékleten, vákuumban zsugorítják. A zsugorított anódokat anódikusan 10 oxidálják, oxidálás után mangánnitráttal impregnálják. A mangánnitrátot pirolízissel mangándioxiddá alakítják. A pirolízis során törvényszerűen meghibásodott dielektrikumot anódikus utóoxidálással javítják. Az impregnálás, 15 pirolízis és anódikus utóoxidálás műveleteket többször megismétlik. Az anódokat kontaktozzák és házba szerelik. A házba szerelt kondenzátorok ezután elektromos utóégetésre kerülnek. 20 Megállapítható, hogy a kondenzátorok dielektrikuma a fenti műveletek során az alábbiak miatt sérülhet meg. Az anódikus oxidáció közben összefüggő, homogén, hibahelymentes oxid- 25 réteg sohasem alakul ki (Vermilyea, „Flows in anodic oxide films", Journal of Electrochemical Society, 110. 250. 1963.) Ez az oxidréteg a technológia során intenzív hőhatásoknak van kitéve. A hőmérséklet nagyságának mértékében rever- 30 zibilis folyamat megy végbe az oxidrétegben (Smith: „Heat-treatment of anodic oxide films on Ta", J. Electrochem. Soc. 110. 1264. 1963.) A hőhatás egyéb káros következményei a következők: A tantálfém és a felületén kialakított oxidréteg hőtágulási együtthatója nagymértékben eltér, ami hőkezelés hatására csökkenti az oxidréteg folytonosságát. Ezt fokozza az a tény is, hogy az anód minden pontjában nem azonos módon melegedik fel. A hőbontás során keletkező melléktermékek kémiailag károsíthatják a dielektrikumot. A keletkező mangánoxid félvezető katód kedvezőtlenebb esetben elzárhatja a pórusokat, ami akadálya az anódikus utóoxidálásnak. A meghibásodás mértéke az anód méretével, felületével növekedik. A készítésből szükségszerűen származó meghibásodásokat, mint ismeretes anódikus utóoxidálással javítják ki. A javítás mértéke a kialakult mangánoxid minőségétől és egyéb tényezőktől függ. Az anódikus utóoxidálás hatása sohasem jelenti az anódtesteknél fellépő meghibásodások abszolút regenerálását. Ismeretes, hogy a félvezető katódú tantál kondenzátoroknál általában — a CV értékekre átlagolva — 70% körül változik a kihozatal különböző, fejlettebb technológiával rendelkező vállalatoknál. Ez — figyelembevéve a nyers-161778