159333. lajstromszámú szabadalom • Eljárás szigelő rétegnek szigetelő réteggel való összekötésére

MAGTAR SZABADALMI 159333 NÉPKÖZTÁRSASÁG LEÍRÁS jp|||W Nemzetközi osztályozás: dKSMfw H 01 b 19/00 ^p Bejelentés napja: 1969. III. 07. (MA—1949) j^^üSim^s, ORSZÁGOS TALÁLMÁNYI HIVATAL Közzététel napja: 1971. III. 16. Hegjelent: 1972. V. 31. Feltalálók: Dorsey John Joseph mérnök, Waltham, Wallis George mérnök, Lexington, Pomerantz Daniel Ira mérnök, Lexington, Amerikai Egyesült Államok Tulajdonos: P. R. Mallory and OO. Inc. cég, Indianapolis, Amerikai Egyesült Államok Eljárás szigetelő rétegnek szigetelő réteggel való összekötésére Szigetelőanyagokat különböző módokon, így például hőhatással, nyomással vagy ezek kombinációjával erősítenek össze. Üvegeket más üvegekkel és különféle oxidokkal, mint SiO-al és SiOa-al megömlesztéses technológiával is 5 szoktak összeerősíteni. Szigetelőknek hőhatás révén való összeerősítésénél fellépő problémák egyike, hogy az összeerősítési folyamat során jelentős feszültségek lépnek fel. Ez főként olyan szigetelőknél fordul elő, amelyek anyaga üveg. 10 Másik probléma, hogy a mérettűrések nehezen tarthatók be, mivel a hő hatásával végzett összeerősítésnél folyékony fázis jön létre. Szigetelők összeerősítésére használt másik 15 technológiánál a szigetelők felületein fémbevonatot létesítenek, és a fémibevanátos felületeket összeolvasztásois vagy forrasztási technológia révén erősítik össze. Ennek az eljárásnak nyilvánvalóan hátrányos tulajdansága, hogy 20 külön fémezési műveleteikre van.szükség. Találmányunk feladata az ismert eljárásoknál tapasztalt hibák és hátrányos tulajdonságok kiküszöbölése. A találmány szerinti, szervetlen anyagú szige- 25 getelőnek másik szervetlen anyagú szigetelőhöz való kötésére szolgáló eljárásnál a szigetelő ^anyagokat egymás mellé helyezzük, ezeket szoros érintkezésbe hozzuk, az anyagok elektromos vezetőképességét az anyagaknak lágyuláspont- go juk alatti, előnyösen 150 C° és 1200 C° közötti hőmérsékletre hevítésével növeljük, az egymás mellé helyezett szigetelő anyagokon az anyagokra kapcsolt feszültség révén elektromos áramot vezetünk keresztül és ezáltal elektrosztatikus erőt keltünk, miáltal az egymás mellé helyezett anyagokat szoros érintkezésbe egymáshoz vonzzuk. Találmányunk további jellemzője, hogy szervetlen, illetve fém, anyagú alaptestre szervetlen szigetelő, előnyösen SiO párologtatásával nyert szilieiumszuboxid vagy sziliciumnitrid anyagból való vékony tapadó réteget viszünk föl és az első szigetelőt e réteggel kötjük össze. A találmány további feladatai ós jellemzői a rajzból és a következő leírásból ismerhetők meg. Az azonos hivatkozási számok hasonló feladatra szolgáló elemeket jelölnek. A találmány lényeige főként az igénypontokból ismerhető meg. Az 1. ábra szigetelőnek alaptesten kialakított közbenső réteg anyagán keresztüli alaptesthez kötésére szolgáló leegyszerűsített rendszer elvi vázlata. A 2. ábra a találmány elvének alkalmazását perspektivikusan szemléltető vázlat, amelynél a védő üvegborítás egy vékony réteghálózat, illetve áramkör fölé van kötve és úgy van kiké-159333