159166. lajstromszámú szabadalom • Eljárás és készülék vékony vezető rétegek elektroeróziós megmunkálására

1591&& 3 Rezgő elektróda alkalmazása vékony vezető rétegek elektroeróziós megmunkálásánál ezenkívül feltételezi azt is, hogy speciális biztonsági intézkedések történtek a szenszámelektróda oldalirányú lengéseinek kiküszöbölésére. 5 A cél, amelyet, a találmány szerinti megoldással el akarunk érni, az hogy az elektroeróziós megmunkálás céljára szolgáló ismert 'berendezések és eljárások hátrányait elkerüljük. Ezért a találmány tárgyának alapját képező 10 feladat abban áll, hogy olyan eljárást dolgozunk ki vékony vezető rétegek elektroeróziós megmunkálására, amelynél annak ellenére, hogy az ismert berendezéseknél szükséges szabályozó vagy rezgető rendszereket elhagyjuk, 15 mégis kifogástalan megmunkálás válik lehetővé. A találmány értelmében egy .beállítható súllyal terhelt tűeleiktródát az alapnak a veze- 20 tőréteggel nem borított valamely helyére teszszünk és az alapon csúsztatva, a vezérlőréteg- • hez addig közelítünk, míg a szifcrakisülés létrejöttéhez szükséges optimális távolságot el nem érjük, ami után a tűelektródát az alapon 25 csúsztatva, a vezetőrétegfoen a szigetelő nyomvonalat kimunkáljuk. Célszerű lehet, ha a szerszámelektróda és az alap között folyékony dielektrikum van. Ola- 30 jos folyadékok, mint pl. transzformátorolaj, jól heváltak. Az eljárás foganatosításainál előnyösen alkalmazható olyan berendezés, amelynek segítségével végrehajtható a szerszámelektródának az alapra való rugalmas felhelyezése. A ta- 35 lálmány tárgyáriak toválbbi részletei a rajzból adódnak. 40 Az eljárás előnye különösen abban áll, hogy a szer számelektróda vezérléséhez nem szükséges küllőn rezgő és szabályozó rendszer. Annak ellenére, hogy a készülék-ráfordítás csökken, az eljárás a kezelés tekintetéiben egyszerű, a végrehajtásiban pedig megbízható. Azok a nehézségek,' amelyek különösen a megmunkálás folyamán előforduló rövidzárlatokból szoktak eredni, csaknem teljesen ki vannak küszöbölve. Az optimális .megmunkálási paraméterek biztosítása esetén igen jó minőségű megmunkálást kapunk. A tömbvázlat és rajz alapján az eljárást, valamint az eljárás foganatosításária szolgáló berendezést részleteséhben ismertetjük. Az 1. ábra vékony rétegellenállás programozott .megmunkálásának tömlbvázlatát mutatja, míg a 2. ábra a szerszámelektróda tartójának elvi vázlatát szemlélteti. Az A megmunkáló készülék egyik bemenetére a vezetéken át B programvezérlő készülék egyik kimenetéről a programozott előtolás 60 vezérlését juttattjuk, míg másik bemenetére C iimpuizusgenerátorból a b vezetéken keresztül a lehordó impulzusokat vezetjük. A B programivezérlő készülékből c vezetéken át jut a gs 50 55 lehordási parancs a C impulzusgenerátorba. Az A megmunkáló készülékhez D mérőkészülék csatlakozik, amely a' d és e vezetékeken keresztül juttatja a C impulzusgenerátorra és a B programvezérlőkészülékre a leállítási parancsot. A vékony vezető réteggel ellátott alap, amelyen megfelelő szigetelő szegély van szabadon hagyva, az A megmunkáló készülék, keresztasztalára van felfogva. A szerszámelektródiát az alap szigetelő szegélyére helyezzük, majd ezt követően a keresztasztalnak a vezetéken keresztül előtolásit adunk, úgy hogy a szerszámelektróda relatív mozgással csúszik az alapon és az elektróda és a vezérlőréteg között levő optimális távolságnál a szikrakisülés megindul. Ilyenkor a vezetőrétegnek az elektródához legközelebb levő része egészen a szigetelő alapig lemunkálódik. Ennek következtében az elektróda a közelítés ellenére a vezetőréteggel szemben elszigetelt marad és a szikrakisülés folytatódni tud. Ily módon az elektróda az alap fölötti viszonylagos mozgásával a vezetőrétegíben szigetelő nyomvonalat munkál ki, mely a réteg vezetőanyagától mentes. Az elektródának a szigetelő nyomvonalon, ill. az alapon való csúszása folyékony dielektrikumnak, pl. transzformátorolajnak alkalmazásával javítható. A keresztasztal előtolását B programvezérlő készülék vezérli, amely megadja azt a geometriát, amelyet a vezető rétegből például meander alakban ki kell munkálni. Ezenkívül a . készülék azt is előírja, hogy az előtolás melyik szakaszain kell léhordást végezni. A réteg le.muníkálása számára szükséges feszültség impulzusokát négyszögimpulzusokat előállító C impulzus generátor szolgáltatja. Egy ellenállásmérő Di mérőkészülék követi a mindenkor elért ellenállás értékét és a beállított előírt érték elérésekor leállási parancsot ad a C impulzusgenerátor és a B programvezérlő készülék számára. Előnyösnek mutatkozott az eljárás foganatosításánál olyan szerszámelektróda-tartó alkalmazása, amilyent a 2. ábra mutat. A feszültséget vezető 1 szerszámelektróda a 2 szigetelődarab útján a 3 állványtól szigetelve van és a 4 konzolon van rögzítve. A 4 konzol vízszintes 5 csapágy körül forgatható. Ezáltal biztosítva van a szerszámelektródának rugózó felfekvése az alapra és az elektróda az előforduló szintváltozásokat követheti és mindig érintkezésben marad az alappal. A felfekvési nyomást a vízszintesben előállítható 6 súly állításával lehet szabályozni. Ez a súly az 5 csapágyra támaszkodó liO emelőkar szabad végén van elhelyezve. A szerszámelektródát 7 mágnes segítségével 8 rudazat útján, valamint 9 ütköző segítségével lehet megemelni. 2