159166. lajstromszámú szabadalom • Eljárás és készülék vékony vezető rétegek elektroeróziós megmunkálására

159106 Vékony, 0,03 /A vastagságú Ni-Cr-rétegiből levő rétegellenállások kiegyenlítésére 30 V impulzus feszültségekkel, 20 kHz impulzus sorozat frekvenciával, impulzusonkint kfo. 10-8 Joule energia taritalommal és 10 mm--sec-1

vágósebességgel eredményesen dolgoztunk. Az eljárás univerzálisan alkalmazható és a vékony vezető rétegek megmunkálásának köréből még a vékony rétegű kondenzátorok beszabályozását, megvilágító előtétek készítését másoló lakkok számára és optikai eltérítő rácsok előállítását kell külön megemlítenünk. 10 6 réteg között a szikrakisülés létrejöttéihez szükséges optimális távolságot el nem érjük, ami után a szerszámelektródát az alapon csúsztatva, a szigetelő nyomvonalat kimunkáljuk. 2. Az 1. igénypont szerinti eljárás foganatosítási módja, azzal jellemezve, hogy a szerszámelektróda és az alap közé a megmunkálás kezdete előtt folyékony dielektrikumot viszünk f-el. 3. A 2. igénypont szerinti eljárás foganatosítási módja, azzal jellemezve, hogy folyékony dielektrikumként olajos folyadékot, például transzforma torolaj at alkalmazunk. Szabadalmi igénypontok: •1. Eljárás vékony vezetőrétegek, különösen szigetelő alapra felpárologtatással vagy felporlasztással felvitt rétegek elektroeróziós megmunkálására tű alakú .elektródáival, azzal jellemezve, hogy a szabályozható súllyal terhelt szeirszámelelktródát az alapnak vezetőréteggel nem borított valamely helyére tesszük és az alapon csúsztatva a vezetőréteghez addig közelítjük, míg a szerszámelektróda és a vezető-15 20 25 4. Készülék az 1—3. igénypontok bármelyike szerinti eljárás foganatosítására, azzal jellemezve, hogy a feszültségvezető szerszámelektróda (1) csapágy (5) körül forgatható konzolon (4) van rögzítve és azt szigetelődiariaib (2) szigeteli el az állványtól, és hogy az említett csapágyhoz (5) a szerszámelektráda (1) felfekvési nyomását szabályozó emelőtear (10) van erősítve, mely beállítható helyzetű súlyt (6) hord, végül a készülélklhez mágnessel (7) mozgatható rúd (8) tartozik, mely a szerszámelektródát (1) az alapról felemelő ütközőt (9) hord. 2 rajz, 2 ábra A kiadásért felel: a Közgazdasági és Jogi Könyvkiadó igazgatója. 7207048. Zrínyi (T) Nyomda, Budapest V., Balassi Bálint utca 21—23. 3