159166. lajstromszámú szabadalom • Eljárás és készülék vékony vezető rétegek elektroeróziós megmunkálására

MAGYAR NÉPKÖZTÁRSASÁG ORSZÁGOS TALÁLMÁNYI HIVATAL SZABADALMI LEÍRÁS Bejelentés napja: 1968. IX. 11. (KE—833) Német Demokratikus Köztársaság-beli elsőbbsége: 1967. IX. 14. (WP 21 h/127 201) Közzététel napja: 1971. II. 06. Megjelent: 1972. III. 15. 159166 Nemzetközi osztályozás: H 05 k 3/08 Feltalálók: Klose Joachim oki. fizikus, Schwarz Karlheinz, Hermsdorf, Német Demokratikus Köztársaság Tulajdonos: VEB Keramische Werke Hermsdorf cég, Hermsdorf/Thür., Német Demokratikus Köztársaság Eljárás és készülék vékony vezető rétegek elektroeróziós megmunkálásra A találmány tárgya eljárás és készülék olyan vékony vezető rétegek elektroeróziós megmunkálására, amilyeneket különösen szigetelő alapokon állítanak elő rápárologtatás, vagy rápor- " lasztás útján és előnyösen passzív szerkezeti 5 elemekként kerülnek alkalmazásra. Ismeretes, hogy munkadaraboknak szikrakisülés útján történő elektroeróziós megmunkálásánál, amely szikraíkisülés egy szerszámelekt- 10 róda és egy munkadarab között történik, a munkád arabról ainyíagnészedskék válnak le. Ennél a műveletnél kritikus a szerszámelektróda és a munkadarab (közlött levő szikraköz, az ún. eróziós rés optimális távköziének fenntar- 15 tása. Ismert megoldás az, hogy ezen távköz szabályozásánál az anyagleválasztó áramot felhasználják érzékelésre, miivel annak nagysága az elektróda és a munkadarab közötti távolságtól függ. Egy másik megoldás szerint, a 20 szerszámelektródát a munkadarabhoz képest rezgetik, úgy hogy az maga keresi ki magának a gyújtáshoz optimális távolságot. A két megoldás kombinációi is ismertek. Az elektroeróziós megmunkálást, amelyet 25 enddetileg bizonyos munkafolyamatok elvégzésére alkalmaztak a gépipariban, az utóbbi időben különösen olyan vékony vezető rétegek megmunkálás árnál is alkalmazzák, amilyeneket passzív villamos áramköri elemek előállítására 30 használnak. Ilyen módon ezekben a rétegekben 10 /i^os furatokat is elő lehet állítani. Olyan választóvonalakat is elő lehet állítani a rétegek elektroeróziós megmunkálása útján, amilyenek az ellenállásrétegek meanderezéséhez szükségesek. Ilyen tű alakú szerszámelektródot vezetnek a réteg felülete mentén. Elektronikus szerkezeti elemek gyártásánál előforduló imunkaifolyamatoknál is jellemző, hogy a szerszámelektiróda a mindenkori réteggel szemíben rezeg, vagy pedig a szerszámelektróda és a réteg között a távolságot külön szabályozó rendszer biztosítja. Ha nagyok a követelmények, a megmunkálás minőségével szemben, akkor szükséges, hogy a szerszámelektróda és a munkadarab között levő feszültséget kis értéken tartsák. A megmunkáláshoz szükséges térerősség értékéből adódik az a követelmény, hogy igen kicsi legyen a távolság a szerszámelektróda és a munkadarab között. Ez a kis távolság azért is szükséges, hogy a szifcraátütést szigorúan csak a megmunkálási helyre korlátozzák. A kis feszültség és a szerszámelektráda és munkadarab közötti kis távolság szükséges feltételek is a vékony vezető rétegek elektroeróziós megmunkálásánál. Ezen feltételek biztosítása, különösen az optimális eróziós rés fenntartása nagy berendezés ráfordítást igényel. 159166