158090. lajstromszámú szabadalom • Eljárás és szerkezet feszített maszk alkalmazásával vákuumpárologtatott félvezető struktúrák előállítására

158090 •. NemzeUcösä osztályozás: H 01 c 7/54; C 23 c 13/06 8 /s . g 2. obra