158090. lajstromszámú szabadalom • Eljárás és szerkezet feszített maszk alkalmazásával vákuumpárologtatott félvezető struktúrák előállítására
Í38Ö90 • Nemzetköaá osztályozás: H 01 c 7/54; C 23 c 13/06 S.ábra iábra 5. ábra
/
