158090. lajstromszámú szabadalom • Eljárás és szerkezet feszített maszk alkalmazásával vákuumpárologtatott félvezető struktúrák előállítására

158090 6 sódott szélei bizonytalan méretnövekedést eredményezitek. Találmányunk konkret példájaként a germánium nagyfrekvenciás tranzisztor esetében az éles szélű, nem megnövekedett méretű emittereik a következő paraméterek javu- 5 lását eredményezték. Az emitter-bázis letörési feszültség (UEBO) és földelt emitteres áramc-rősítési tényező (l^ie) jelentősen javultak, mivel az emitter szélén az emitterbázis diódával párhuzamosan kapcsoló- 10' dó ohmikus ellenállás megszűnt. Tranzit frekvencia (IT) paraméteriben jelentős javulás {mutatkozott, 'mivel ez főleg az emitter méret függvénye, és ez a maszk ré- 15 seihez képest nem növekedett meg. Találmányunk tárgyát képező szerkezet termelékenyebb, mint a hagyományos eljárást megvalósító szerkezetek. Mivel egy teljes fél- 20 vezetőszelet kihasználható és egy félvezetőelem méretének csökkentésére van lehetőség, amelyet a hagyományos eljárásoknál alkalmazott bordás maszk leszorítok nem tettek lehetővé. Találmányunk szerinti szerkezet lehe- 25 tővé teszi a maszkok egyszerű kezelését és tisztítását, mivel a íémfóliia-maszkok kezelése égy merev keretben történik a fémfólia-maszkok mechanikus sérülékenysége (kisebb, élettartama nagyabb lett. 30 Szabadalmi igénypontok: 1. Eljárás vákuumpároLogtatott félvezető struktúrák előállítására, amelynél a fémfóliamaszík • által meghatározott helyeiken fémes vagy nemifémes anyaggal bevonandó félvezető szeletet fűthető befogóira helyezzük, azzal jellemezve, hogy a félvezető szeletre körkörösen feszített íémfólia-maszkot szorítunk rugalmasan egy maszkfeszítő szerkezet segítségével, a szerkezetet' vákuum-párologtató berendezésbe helyezzük, önmagálban ismert módon fém vagy nemfém anyagot párologtatunk a fémfóliamaszkon keresztül .a félvezető szelét felületére, majd a körkörösen feszített fómfóilia-maszkoit eltoljuk a félvezető szelet felületén a miaszkfeszítő szerkezeten kiképzett vezeték és csavar segítségével, majd új anyagot párologtatunk.. 2. Árnyékoló maszkszerkezet az 1. igénypontban ismertetett eljárás foganatosítására, amely tartalmazza a félvezető szelet (lil) és a fómfólia-maszlk (1) együttműködő felületeinek egysíkú felfekvését megoldó beállító elemeket (7) és a .maszkszerkezet elmozdítását szolgáló csavart (8), azzal jellemezve, hogy kör alakú két összeszorító gyűrűből (2 és 3) és a lemezrugókkal (5) beállítható feszítőgyűrűből (4) álló maszkfeszítőt tartalmaz, és az összeszorító gyűrűben (2) van kialakítva a mikronos elmozdítást biztosító vezeték (13). 2 rajz, 5 ábra A kiadásért lelel: a Közgazdasági és Jogi Könyvkiadó igazgatója. 7107159. ZIrínyi (T) Nyomda, Budapest V., Balassi Bálint utca 21—23. 3