158090. lajstromszámú szabadalom • Eljárás és szerkezet feszített maszk alkalmazásával vákuumpárologtatott félvezető struktúrák előállítására

3 158090 4 keletien maszfcfelfekvés miatt 15 távolság van. A 14 forrás széleiről a párolgó anyag a leképződő struktúra széleit bizonytalanná teszi, így keletkezik a 16 egyenletes réteg, ami teljes forrás-íelülettel áll szemben, és a 17 szórt szélek, amelyeikre az anyag nem teljes forrás felületről jut. A kontakt eljárás hagyományos változata köztartót nem alkalmaz. A" maszkf ólia közvetlenül felfekszik a íélvezetoőszelet felületére. A felfekvést és a két felület össizeszorítását a bordás, illetve rácsos leszorító lemez biztosítja. A vákuumpárologtatás során leképződő rétegek 'egymásközti távolságát a maszkfólia meghatározott mértékiben történő elmozdításával oldja meg. Az eljárás során fellépő hődilatáció a leszorított, de nem feszes maszkfófiát hullámossá teszi a leszorító rései között, sőt maga a leszorító neszei is deformálódnak. Ennek következtében a két felület összeíeikvése egyáltalán nem kielégítő. Ez a párologtatása módszer az udvarhatást nem szünteti meg. A bordás maszkleszorítónál a bordák szélességének 'és hosszának arányát szilárdsági szempontok határozzák meg. így a bordáik gyakorlatban előállítható méretei miatt egy félvezetőelem mérete korlátozott, és a teljes félvezetőszelet nem használható ki. A hagyományos maszkleszorítós rendszereknél, a maszkleszorító illesztése a maszkhoz, a maszk kezelése nehézkes, a maszk igen sérülékeny és ezek a tömeggyártásban való alkalmazása esetén jelentős nehézségeket okoznak. A hagyományos eljárások és árnyékoló maszkszerkezetek, amelyeknek közös jellemzőjük, hogy bordás maszkleszorítót alkalmaztak, az előbbiekben ismertetett hibáikat, hátrányaikat szünteti meg a találmányunk tárgyát képező, eljárás és új árnyékoló maszkszerkezet. Találmányunk eljárás vákuumpárologtatott félvezető struktúrák előállítására, amelynél a fémfólia-maszk által meghatározott helyeken fémes vagy nemfémes anyaggal bevonandó félvezető szeletet fűthető befogóra helyezzük, majd a félvezető szeletre körkörösen feszített fémfólia-maszkot szorítunk rugalmasan egy maszkfeszítő szerkezet segítségével, a szerkezetet vákuumpárologtató 'berendezésibe helyezzük, önmagában ismert módon fém vagy nemfém anyagot párologtatunk a fémiólia-maszfcon keresztül a félvezető szelet felületére, majd a körkörösen feszített fémfóliamaíszkot eltoljuk a félvezető szelet felületén a maszkfeszítő szerkezeten kiképzett vezeték és csavar segítségével, majd új anyagot párologtatunk. Találmányunk másrészt árnyékoló maszkszerkezet az ismertetett eljárás foganatosítására, amely tartalmazza ,a félvezetőszelet és a £émfólia-maszk együtitműiködő felületiéinek egysíkú felfekvését megoldó beállító elemeket és a maszfcszerfcezet elmozdítását szolgáló csavart, valamint kör alakú két összeszorító gyűrűből és lemezrugóklkal beállítható feszítőgyűrűből álló maszkfeszítőt tartalmaz, és az összeszorító gyűrűben van kialakítva a mikronos elmozdítást biztosító vezeték. Az 1. ábra oldalmetszetben, a 2. ábra felülnézetben ábrázolja az eljárásunk foganatosításához szükséges árnyékoló maszkszerkezet egy kiviteli ^példáját nagyfrekvenciás germániummesa tranzisztor vákuunipáírologtatással történő előállítására. A találmány szerinti eljárást is az 1, 2-es ábrán ismertetjük. Az ábrákon látható 9 fűthető 'befogóira 11 félvezető szeletet helyezünk, majd mechanikusan rögzítjük. A 11 félvezető szeletre helyezzük az 1 fémfólia maszkot. Az 1 fémfólia maszk a 2 és 3 összeszorító gyűrűk közé van szorítva, és a 4 'íeszítőgyűrű közvetítésével az 5 lemezrugók feszítik meg. Az 1, 2, 3, 4 és 5 elemekből álló feszített maszkot a 6 spirálrugó szorítja a 14 félvezető szelet felületéire. s A 11 félvezető szelet és az 1 fémfólia mászik egysíkú felfekvésének a beállítása a 7 beállító elemek (példánkban csavarok) segítségével történik. Az előbbiekben tárgyalt feszített maszk mikronos elmozdítása .a 2 'összeszorító gyűrűben kiképzett 13 vezeték mentén a 8 csavar segítségével történik. A 10 fűtőspirál elektromos kivezetésére és az árnyékoló maszkszerkezet mechanikus rögzítésére a 12 dugóik szolgálnak. A találmány alkalmazása során nemvárt hatásként jelentkezett, hogy a fémfólia-maszk felfekvése minden előző eljárásnál jobb volt, az adott feladatét tökéletesen megoldotta. Az előzőek magyarázata az, hogy az előfeszí'tés során létrehozott rugalmas nyúlás nagyobb volt, mint a félvezetőszieilöt fűtése következtében a miaszkfólián létrejött hődüetáció lett volna. így a melegedés során esőkként a feszültség, amit a fémifólia-maisizkban az előfeszítés következtében létrehoztunk, de méretei nam változtak meg. A fémfólia-maszk fűtött alkalmazás esetén is sík maradt — kísérleteink folyamán mért nyúlása kisebb volt, mint a megengedett érték (0,1 mikron/mm). A találmány szerinti eljárás alkalmazása során jelentős javulás mutatkozott a gyártott félvezetőeszközök elektromos paraméteriéiben. A tökéletes fémíóliia-maszk felfekvése következtében a párologtatott rétegek kontúrjai élesek, határozottak, udvarhatást nem mutatnak. A felpárologtatdtt rétegek méretei egymás között egyenlők és megegyeznek a fémfólia-maszk réseinek méretével, amíg a hagyományos eljárásokkal készült rétegek elmo-10 \5 20 2b 30 35 40 45 50 55 60 2