155217. lajstromszámú szabadalom • Eljárás félvezető gyártására szolgáló szilícium nyomelem tartalmának meghatározására roncsolásmentes neutronaktivációs analízissel
155217 Szabadalmi osztály: 42 1 3; 21 g 17—21 Nemzetközi osztály: G 01 n 7. ábra
/
