155217. lajstromszámú szabadalom • Eljárás félvezető gyártására szolgáló szilícium nyomelem tartalmának meghatározására roncsolásmentes neutronaktivációs analízissel

155217 Szaibadalmi osztály: 42 1 3; 21 g 17—21 Nemzetközi osztály: G Ol n K W ~ " \ 0J9 0.8 0,7 — \ 0,6 05 OA 0,3 02 0,1 I 4 d 2. ábra