148127. lajstromszámú szabadalom • Eljárás nagytisztatású, elsősorban félvezetők gyártására szolgáló szilícium előállítására

Megjelent: 1981. március 15. ORSZÁGOS TALÁLMÁNYI HIVATAL SZABADALMI LEÍRÁS 148.127. SZÁM 12. i. 33—40. OSZTÁLY — MU-156. ALAPSZÁM SZOLGÁLATI TALÁLMÁNY Eljárás aagytisztaságú, elsősorban félvezetők gyártására szolgáló szilícium. előállítására Magyar Tudományos Akadémia Fizikai-Kutató intézete, Budapest Feltaláló: Winter Ernő akadémikus, Budapest A bejelentés napja: 1958. október 30. A félvezetők gyártására szolgáló anyagok tisztasági követelményei felülmúlják az eddig más célból előállításra kerülő anyagokét. A félvezető alapanyagok előállítása rendszerint két fő fázisban történik. Az első magának a félvezető elemnek az előállítása, a második az elem további tisztítása. Ez utóbbi folyamat, amely általában az ún. zónázási eljárással történik, meglehetősen korljtOK k)ic

\ai f t

1 ]T

i 1 J\l N'"

1

\ / 1 -nyt^o an\ar

rorm

<= c» nag kk<u a /c i " oKin ho°sr'

'dot <- i' u be ne i e akT-ktb-ip n^ji J 1< b hí rti0,1 T

d j /+ D a ° ) nJ7 «• i tri min 1 i ~- ryp r 1 i i zohi k LC rmfoiman Ik In i-> í^cit a hemr kilM-tsa bin h r " cl h i \ a c u asi f il u t"» n elso11

^

tcint1,

(pt

mci ilimi /üicmm i h i 1 1 1 k r v

n ' C* "/i m J "i t \ It un n°m \agv c a1

*- ]

J

i ' i j

cítJ ni ^ \ ^b* ] tw tj túl " ne m u i+

lb 1 f- y' ( b J 1 I i ib i ' Ti fi i ]

m 1 >• i í i l*

1

•" zi

1

i n il t n ' i í( i i h r> i i i r i -7 i i 1 -) + / U ' sil j + ÍTT I r on

í

p1

/t ">

1

P n tekli r 't+

i J í i c i -i *• i c "• ' b f

ii

1

'

1

is no1

i k = ib If' "'s k rT iv Mrüg

i ni ' ti \ 3 b)^^ fi a di s pci lisi" lm1

')

Milien Í^T \u' f L I <• ul <- g ln

t 1 j

M I

1» ko i uQ i n a r

"?l i

4

-ni í ho' " it V í •> e",\ ] •" ->o -> in\ o )-t j n

b rím p í i

J pen a TM i i ° L t <" i í t i ^ 1 h s pun i i] c

rn t n

KU

b

r

i

J

k

1

i i cumi ilc t m i -,^1 r J ím > * kci-u í uh ki f ia1 it! kol)i b i v , i >zr ic rí? r n b 1 Ib D^O ) ° a J =• v. i< P r

k

/-nri" m M >e "> "> "i ]ic=l 1 b "* og\ n in 11 J 1 irn r > Mi <í( 1 iin > i i Jl

L )i c 1 a ii > i t C ? ti I lg IS l (. 1) t, z esetekben elhagyható. A találmány szerinti eljárással tehát lehetőség nyílik arra is, hogy mindjárt a termikus bontás folyamatában a gyártás célját képező végterméket pl. szilícium fényelemet, vagy szilícium egyenirányítót stb. közvetlen állítsunk elő. A találmány szerinti szilícium előállítás két lépésből áll. Az elsőben r 2 uríj ! " r

+11 _ W-ji

n

PCI (1) H 1 ».30 /3

i t v irr-, he 't 11J.1I ni? c o ame-I et L t 11 a m c 1 ír at p •=> W „ 1 —" 1c 1

(2) r ilf KI ip j n\ A 'JI íc 1 1 p a ific 1 gi:> elo/ece en megti ? iti t1

r

r

fi

-3 n u 1 idi ( >-en gáz-i ruh a "10 janin 1 /ÍCOÍL

\7(lfiamdróc ff 1 1 n ( U t 111 gindosan ui°cfi 7 1, 1 r o ,

runnel c hőfoka II '(' 1 n

C n -'ai lo v olframco) 1 g r

l \ cv

1 r H c zesie i wolf-1 it 1 1 A

1

1 it 1 i n °it anya-) 1 n

1 !

a

h 1

1

i. 3 i'l o is így hr1

1

\nc

1 i r i 'oru^hato. v 1 1 1 1 s 1 c > t r <" \ bizov ifiir'l 1 f a f-+ e i

0-1

r

i animal ' eto P 1 p L o Í. i "ii (íit o hőfo-1 "•" icii^iit*1

!

L ^\ i/ ib ilvti^ni ] ~n a szilir il női i i 1 n h 1 a 1 pl mintegv eg' 'idipi ci 1 "i in le zel b cs. így ^ ip1

1 11 " TI a i ' 1 f °

irmot % iii/^tlanul n r^ 1 ' J

L b i^

1

) fi

ifakcio előr

"s< rí jfaci ' 1 *\ r 1 wolf-1 p i n -< p 'if e""s "ei u vil-1 u [•! ] 1 (.+

i (- o 1 n"

1

amnl^^ken

az (\) PI\CI v

r < li< e

!

phiaP teltük

l]i módon r CT ->h "i- -> r-s 1 Q x c

en

x p-,

lített w 1 1

1 1 1 1 1 el -0 it 1 ű minél ke t J1

^ v-s ni 1

<l

L

1 z t+1 k í^egpn anyag i PIIPI V "" hua c- -> eb a bin en\ece-> körülír "t mf» c- j r ii 1 "1 ui .íilír d kenződé\.. .. . ai...L.. ^. s ilia jmtet. aklaiid

leg-