Kovács Petronella (szerk.): Isis - Erdélyi magyar restaurátor füzetek 8-9. (Székelyudvarhely, 2009)
Tóth Attila Lajos: Elektronsugaras mikroanalízis restaurátoroknak. I. rész: pásztázó elektronmikroszkópia
14. a-b. ábra. A gyűjtési idő lOx növelésének hatása Sn gömböket tartalmazó A1 lemez SEI képén. A paraméterek, amelyeket adott detektor mellett változtathatunk, a primer elektronintenzitás és a pixelenkénti gyűjtési idő. A 14. b. ábra esetében elég volt a mérési időt tízszeresére növelni. Ez szekunder elektron képnél nem több mint egy perc képenként. Problematikussá akkor válik a helyzet, ha az analitikai jel hozama (adott sugáráramra) alacsony (pl. katodolumineszcencia), ha a detektor a keltett jelnek csak egy részét képes elektromos jellé alakítani (pl. röntgendetektorok), és ha nagy nagyítású képet kell készítenünk sugárérzékeny mintán, vagyis meg van kötve a kezünk az áram növelésében. Ha ezek a feltételek összejönnek, akár 30-60 perces képgyűjtési idővel is számolhatunk, hajó minőségű, kis zajú képre van szükségünk. 6.3. Szekunder elektronok (SEI) Kisenergiájú (E<50eV), a target atomhéjainak ionizációjából származó elektronok (11. ábra): Detektálás: Everhart-Thomley (EHT) detektor (14. ábra), channeltron. Kontrasztfajták:- domborzat (élek és apró részecskék)- anyagminőség (kilépési munka)- rendszám- vastagság bevonatokon- lokális elektromos tér, töltődés, potenciálkontraszt- lokális mágneses tér. Szekunder (vezetési) elektronok keletkeznek, ha a primer elektronok rugalmatlanul ütköznek a minta vezetési sávjának lazán kötött elektronjaival. Az átadott energia viszonylag kicsi, 1-50 eV, vagyis - a szokásos behatárolás szerint - a szekunder elektronok energiája Ese<50 eV. Kis energiájuk miatt tipikusan 5 nm vastag anyagban már elnyelődnek, vagyis információs térfogatukat a mintafelület felső rétegének, és (eltekintve a visszaszóródó elektronok által keltett szekunder elektronoktól) a behatoló sugár közvetlen környezetének metszete adja. A szekunder elektron kép (SEI) a mikro- és nanomorfológia megjelenítésére használt pásztázó elektronmikroszkópok legrégebbi, mindazonáltal mindmáig legnépszerűbb képe. A számos kontraszt közül ugyanis (melyek zavaró módon egymásra szuperponálódva jelentkeznek) egyszerű aranyozás után csak a domborzati kontraszt marad, melyet kihasználva az ötvenes évek óta használt 15. ábra. A szekunder elektron jel (SEI) útja az Everhart-Thomley (ÉTIT) detektor egyes részein át. 16. ábra. Az Everhart-Thomley (EHT) detektor. 17. ábra. Szekunder elektronjel különböző objektumokról. zseniális Everhart-Thomley (EHT) detektorral csodálatos domborzati képek készíthetők. Aló. ábrán látható detektor először +200V feszültséggel összegyűjti az (1) primer sugár (PE) által a mintából különböző irányba induló (2) szekunder elektronokat (SE), majd +12 kV feszültséggel egy szcintillátorra gyorsítja őket. A keltett (3) felvillanásokat egy fényvezető rúd egy fotoelektron sokszorozó (4) fotokatódjára vezeti, melynek kimenetéről már képalkotásra kész jel (5) vezethető el. A szekunder elektronkép (SEI) leggyakoribb felhasználása nagy nagyítású, „térhatású” morfológiai képek készítése. A gerjesztett térfogatnak a mintafelülettel érintkező tartományából képesek kilépni, ezért az élek, lépcsők, 19
