203585. lajstromszámú szabadalom • Eljárás hordozóra történő, lézerrel aktivált kémiai gőzfázisú leválasztásra
HU 203585B 3 intenzitásait használhatjuk, vagy egy külön mérő lézerét, az utóbbinak előnye, hogy a növesztést végző lézerfény intenzitás változása nem befolyásolja a mérést;- a mozgatás sebességének változtatása esetén célszerű a különbségi jelet közvetlen analóg beavatkozó jelként felhasználni, például galvanométeres, akuszto-optikus szkener, vagy piezoelektromos működő lineáris mozgató elem;- a fényintenzitás változtatása esetén ugyancsak célszerű a különbségi jelet analóg módon teljesítmény erősítőn keresztül közvetlenül felhasználni;- az eljárás alkalmas a félvezető technológiában alkalmazott egyéb gázokból való réteg növesztésére is, úgymint: AsH3,B2H6, PH3, SiH4, SiF4. A találmány szerinti eljárás alkalmazása esetén:- optimális sebességgel nagy megbízhatósággal egyenletesen tudunk réteget növeszteni,- egyszerű eszközökkel megvalósítható,- a növesztés hatékony, gazdaságos. SZABADALMI IGÉNYPONTOK 1. Eljárás hordozóra történő lézerrel aktivált kémiai gőzfázisú leválasztásra, melynek során a hordozót a leválasztandó anyagot gázfázisban tartalmazó közegbe helyezzük, majd lézerrel megvilágítjuk, a megvilágítás során a lézernyalábot előnyösen fókuszáljuk és ezután fokozatosan mozgatjuk a hordozót és/vagy a lézernyalábot, azzal jellemezve, hogy a leválasztandó anyagot gáz fázisában tartalmazó közegből a leváló rétegen keresztül haladó és/vagy arról visszaverődő fényintenzitást és a beeső fényintenzitást mérjük és ezek arányából képzett jelet egy a kívánt réteg vastagságára, és/vagy a réteg szélességére jellemző referenciajellel összehasonlítva egy hibajelet állítunk elő, mellyel a lézer fényintenzitását és/vagy a mozgatás sebességét fo-4 lyamatosan szabályozzuk. 2. Az 1. igénypont szerinti eljárás, azzal jellemezve' hogy strukturált nem abszorbeáló réteget is tartalmazó hordozót látható vagy infravörös tartományú lézerrel világítjuk meg és a lézernyalábot az abszorbeáló réteg szélére fókuszáljuk és ezután fokozatosan mozgatjuk a hordozót és/vagy a lézernyalábot a nem abszorbeáló rész fölé. 3. Az 1. vagy 2. igénypont szerinti eljárás, azzal jellemezve, hogy a hordozót ultraibolya tartományú lézerrel világítjuk meg és a lézernyalábot fókuszálva fokozatosan mozgatjuk a hordozót és/vagy a lézernyalábot. 4. Az 1 -3. igénypontok bármelyike szerinti eljárás, azzal jellemezve, hogy a leválasztandó anyagot gáz fázisában tartalmazó közeget vákuumkamrában helyezzük el szükség esetén inert gázzal keverve. 5. Az 1 -3. igénypontok bármelyike szerinti eljárás, azzal jellemezve, hogy a leválasztandó anyagot gáz fázisában tartalmazó közeget közvetlenül a megvüágított felületre fújjuk. 6. Az 1-5. igénypontok bármelyike szerinti eljárás, azzal jellemezve, hogy a leválasztandó anyag fémkarbonil, például W(CO)5 és/vagy Mo(CO)6 és/vagy Cr(CO)6 és/vagy Ni(CO)4 és/vagy Fe(CO)5. 7. Az 1-5. igénypontok bármelyike szerinti eljárás, azzal jellemezve, hogy a leválasztandó anyag fémhalogének, például WF6 és/vagy MoF6. 8. Az 1-5. igénypontok bármelyike szerinti eljárás, azzal jellemezve, hogy a leválasztandó anyag fémalkil, például Cd(CH3)2 és/vagy A1(CH3)3 és/vagy Ga(CH3)3. 9. Az 1 -8. igénypontok bármelyike szerinti eljárás, azzal jellemezve, hogy a fényintenzitás méréséhez a szabályozandó lézer hullámhosszától legalább 25 mm-el eltérő hullámhosszú lézert alkalmazunk. 5 10 15 20 25 30 35 3
