203154. lajstromszámú szabadalom • Alumínium-alumíniumötvözet alapú nedvességmérő érzékelő szonda és eljárás annak előállítására
1 HU 203 154 B 2 tázatot alkot, és egyes, a mintázattal meghatározott, felületrészeken az oxidréteg (3) fedetlen. 6. A 2-5. igénypontok bármelyike szerinti szonda, azzal jellemezve, hogy a furatok (11) környezetében kontaktáló fémbevonat (5) van, és a fémbevonathoz (5) a furatba (11) erősített kötőelemmel (7) forrfül (6), a forrfülhöz (6) pedig elektromos hozzávezetés (8) van rögzítve. 7. A 2-5. igénypontok bármelyike szerinti szonda, azzal jellemezve, hogy a fémréteggel (4) fedett felületrészen a furatba (11) kötőelemmel (7) forrfül (6) és laprugó (9) van erősítve, a forrfülhöz (6) elektromos hozzávezetés (8) van kötve, és a laprugóhoz (9) fémszivacs (10) van erősítve, melyet a laprugó (9) rugalmas ereje a fémrétegre (4) szorít. 8. Eljárás alumínium-alumíniumötvözet alapú nedvességmérő érzékelő szonda előállítására olymódon, hogy az alapanyagot méretre vágjuk, mechanikai csiszolással és/vagy mosással és/vagy zsírtalanítással előkészítjük, elektrokémiai oxidáció útján a felületét oxidáljuk, majd fémréteget viszünk fel, s a kivezetések rögzítéséhez a bázisfémet és a fémréteget kontaktusokkal látjuk el, azzal jellemezve, hogy az oxidréteg (3) kialakítása előtt a szonda (1) felszínén elektrokémiai polírozást végzünk; az oxidréteg (3) felvitelét két vagy több lépésben végezzük, nevezetesen tömör oxidréteg, majd ezt követően porózus oxidréteg kialakítása útján; továbbá az oxidréteg (3) kialakítása után vákuumban hőstabilizálást alkalmazunk, majd a fémréteg (4) felviteléig vákuumra leszívatott zárt térben szárítószer felett tároljuk. 9. A 8. igénypont szerinti eljárás, azzal jellemezve, hogy a méretrevágást a bázisfém (2) teljes vágási vonalán egyszerre, a bázisfém (2) fémszerkezetének alakmegőrzésével, azonos vágási sebességgel végezzük. 10. A 8. vagy 9. igénypont szerinti eljárás, azzal jellemezve, hogy a mechanikai csiszolást síkkorongos polírozással, kristálytani polírozási igényességgel végezzük, miközben a bázisfém (2) lapfelületeit síkpárhuzamosra polírozzuk. 11. A 8-10. igénypontok bármelyike szerinti eljárás, azzal jellemezve, hogy a szondán (1) furatokat (11) alakítunk ki a méretrevágás után, de célszerűen a mechanikai polírozás előtt. 12. A 8-11. igénypontok bármelyike szerinti eljárás, azzal jellemezve, hogy az elektrokémiai polírozást savas közegben, célszerűen kénsavat és foszforsavat tartalmazó elegyben 30 °C feletti, célszerűen 45-70 'C hőmérsékleten végezzük. 13. A 8-12. igénypontok bármelyike szerinti eljárás, azzal jellemezve, hogy a tömör oxidréteg felvitelét 20'C-on vagy annál magasabb hőmérsékleten, gyengén savas, célszerűen bórsavas és/vagy kloridmentes nátronlúgos közegben végezzük „záróréteg”- típusú oxidfilm kialakulásáig. 14. A 8-13. igénypontok bármelyike szerinti eljárás azzal jellemezve, hogy a porózus oxidréteg kialakítását krómsav és/vagy oxálsav alkalmazásával 20 'C-nál magasabb, célszerűen 30-35 ”C-on végezzük. 15. A 8-13. igénypontok bármelyike szerinti eljárás, azzal jellemezve, hogy a porózus-oxidréteg kialakítását kénsav alkalmazásával 5 °C alatti, célszerűen 2,5- 3,5°C hőmérsékleten végezzük. 16. A 8-13. igénypontok bármelyike szerinti eljárás, azzal jellemezve, hogy a porózus oxidréteg kialakítását krómsav és/vagy oxálsav oldatban 20 °C feletti hőmérsékleten kezdjük, és kénsav oldatban 5 'C alatti hőmérsékleten folytatjuk, illetve fejezzük be. 17. A 8-16. igénypontok bármelyike szerinti eljárás, azzal jellemezve, hogy a porózus oxidréteg növesztését (fejlesztését) mindaddig folytatjuk, míg az oxidkeletkezkési és oldódási folyamatok között a dinamikus egyensúly ki nem alakul. 18. A 8-17. igénypontok bármelyike szerinti eljárás, azzal jellemezve, hogy az oxidréteg (3) kialakításakor a bázisfémet (2) csak részben, célszerűen legfeljebb négyötöd részben merítjük az oxidáló elektrolitba úgy, egyik furata (11) környezete oxidmentes maradjon. 19. A 8-18. igénypontok bármelyike szerinti eljárás, azzal jellemezve, hogy a hőstabilizálást 400 °C alatt, célszerűen 120-180 'C-on vákuum szárítószekrényben végezzük. 20. A 8-19. igénypontok bármelyike szerinti eljárás azzal jellemezve, hogy a fémréteget (4) arany vagy ezüst vagy réz vagy ezek bármelyikének ún. tapadófémekkel, mint Ti, Ni, Cr, képzett réteges kombinációja alkalmazásával, a vízmolekulák szempontjából az oxidpórusoknál még átjárható vastagságban, vákuumpárologtatással visszük fel. 21. A 8-20. igénypontok bármelyike szerinti eljárás, azzal jellemezve, hogy a bázisfém (2) oxidréteggel (3) nem borított felületére és/vagy furatának környezetére a kontaktáláshoz direkt rágőzölögtetéssel és/vagy elektrokémiai vagy kémiai iétegvastagítással fémbevonatot (5), célszerűen aranyat vagy ezüstöt vagy rezet vagy ezek bármely réteges kombinációját, visszük fel. 22. A 8-21. igénypontok bármelyike szerinti eljárás, azzal jellemezve, hogy a bázisfém (2) fémréteggel (4) borított felületrészén lévő furat (11) környezetében a kontaktálást a fémréteg (4) helyi fémrágőzölögtetéses vastagításával vagy elektrokémiai rétegvastagítással vagy e kettő kombinációjával, vagy helyi fémrágőzölögtetés és arany vagy ezüst vagy réz vagy ezek bármely réteges kombinációja direkt rágőzölögtetés együttes alkalmazásával végezzük. 23. A 8-22. igénypontok bármelyike szerinti eljárás, azzal jellemezve, hogy a fémréteget (4) mintázatot adó maszk segítségével visszük fel. 24. A 23. igénypont szerinti eljárás, azzal jellemezve, hogy a fémréteg (4) maszkos felvitelét és a bázisfém (2) fémbevonatos (5) kontaktálását egyazon technológiai lépésben végezzük el. 25. A 9-24. igénypontok bármelyike szerinti eljárás, azzal jellemezve, hogy az elektromos hozzávezetések (8) csatlakoztatásához a fémréteghez (4) és/vagy a fémbevonat(ok)hoz (5) - elektromosan közvetve és/vagy közvetlenül kapcsolódó - forrfüleket (6) alkalmazunk. 5 10 15 20 25 30 35 40 45 50 55 60 6
