202451. lajstromszámú szabadalom • Eljárás nagy alfa-fázis tartalmú szilicium-nitrid előállítására
11 HU 202451 B 12 Az-előállított töltetet reaktorban helyezzük el, a reaktort ammóniával töltjük meg 8 MPa nyomáson, éa a továbbiakban az 1. példában leírtak szerint járunk el. A szilicium-nitrid cC-fázis-tartalma 95 tömegX, szabad sziliciumtartalma 0,06 tömegX. 12. példa 60 tömegX fémsziliciumból és 40 tómeg% amorf szilíciumból, továbbá a reakcióba lépő szilícium mennyiségére vonatkoztatva 15 tömegX mennyiségű adalékanyagból töltetet állítunk elő. Töltetként ammónium-klorid és magnézium-fluorid 1:1 tömegarányú keverékét alkalmazzuk. Az előállított töltetet reaktorban helyezzük el, a reaktort nitrogén és 5 térfogatX hidrogén és 20 térfogatX argon keverékével töltjük meg 20 MPa nyomáson. A továbbiakban az 1. példában leirtak szerint járunk el. A szilicium-nitrid oC-fázis-tartalma 93 tőmegX, szabad sziliciumtartalma 0,15 tömegX. 13. példa 70 tömegX fémsziliciumból és 30 tömegX amorf szilíciumból, továbbá a reakcióba lépő szilícium mennyiségére vonatkoztatva 35 tömegX adalékanyagból töltetet állítunk elő. Töltetként ammónium-fluorid és kalcium-fluorid 1:0,1 tömegarányú keverékét alkalmazzuk. Az előállított töltetet reaktorban helyezzük el, a reaktort nitrogén és 1 térfogatX klór keverékével töltjük meg 15 MPa nyomáson. A továbbiakban az 1. példában leirtak szerint járunk el. A szilicium-nitrid oC-fázis-tartalma 94 tömegX, szabad sziliciumtartalma 0,06 tömegX 14. példa 80 tömegX fémsziliciumból és 20 tömegX amorf szilíciumból, továbbá a reakcióba lépő szilícium tömegére vonatkoztatva 35 tömegX adalékanyagból töltetet állítunk elő. Adalékanyagként ammónium-fluorid és ammónium-klorid 1:1 tömegarányú keverékét alkalmazzuk. Az előállított töltetet reaktorban helyezzük el, a reaktort cseppfolyós nitrogénnel töltjük meg. Ezután inicináljuk a kémiai reakciót a töltet egy rétegében áramimpulzus útján az 1. példában leirtak szerint. A reakcióhő következtében fellépő magaB hőmérséklet miatt a töltet pórusaiban legalább 30 MPa nitrogénnyomás alakul ki, és a továbbiakban a reakció a töltetben önfenntartó égés útján terjed tovább. Az égési folyamat befejeződése után a szintézis termékét kivesszük a reaktorból. A szilicium-nitird oC-fázis-tartalma 90 tömegX, szabad sziliciumtartalma 0,1 tömegX. 15. példa 80 tömegX hidrogén-fluoriddal kezelt fémsziliciumból és 20 tömegX amorf szilíciumból, továbbá a reakcióba lépő szilícium tömegére vonatkoztatva 35 tömegX mennyiségű adalékanyagból töltetet állítunk elő. Adalékanyagként ammónium-klorid és ammónium-jodid 10:1 tömegarányú keverékét alkalmazzuk. Az előállított töltetet reaktorban helyezzük el, a reaktort nitrogénnel töltjük meg 15 MPa nyomáson. A továbbiakban az eljárást az 1. példában leírtak szerint végezzük. A szilicium-nitrid oC-fázis-tartalma 91 tömegX, szabad szilíciumtartalma 0,1 tömegX. 16. példa 80 tömegX mennyiségű, lökéshullámok hatásával kezelt fémsziliciumból, és 20 tömegX amorf szilíciumból, továbbá a reakcióba lépő szilícium tömegére vonatkoztatva 35 tömegX mennyiségű adalékanyagból töltetet állítunk elő. Adalékanyagként ammónium-fluorid és ammonium-jodid 10:1 tömegarányú keverékét alkalmazzuk. Az előállított töltetet reaktorban helyezzük el, és az eljárást az 1. példában leirtak, szerint folytatjuk. A szilicium-nitrid cC-fézis-tartalma 91 tömegX, szabad szilíciumtartalma 0,15 tömegX. 17. példa 80 tömegX mennyiségű, ultrahanggal kezelt fémsziliciumból és 20 tömegX amorf szilíciumból, továbbá a reakcióba lépő szilícium tömegére vonatkoztatva 35 tömegX mennyiségű adalékanyagból töltetet állítunk elő. Az előállított töltetet reaktorban helyezzük el, és a reaktort nitrogén és 5 térfogatX hidrogén keverékével töltjük fel 15 MPa nyomáson. A továbbiakban az eljárást az 1. példában leírtak szerint folytatjuk. A szilicium-nitrid oC-fázis-tartalma 92 tömegX, szabad sziliciumtartalma 0,1 tömegX. 18. példa 80 tömegX mennyiségű, vibrációs malomban vibrodiszpergálás útján kezelt fémsziliciumból és 20 tömegX amorf szilíciumból, továbbá a reakcióba lépő szilícium mennyiségére vonatkoztatva 35 tömegX ammónium-fluorid adalékanyagból töltetet állítunk elő. Az előállított töltetet reaktorban helyezzük el, a reaktort nitrogén és 5 térfogatX hidrogén-klorid keverékével töltjük meg 15 MPa nyomá-5 10 15 20 25 30 35 40 45 50 55 60 65 8
