202451. lajstromszámú szabadalom • Eljárás nagy alfa-fázis tartalmú szilicium-nitrid előállítására
(19) Orszigkód: HU SZABADALMI LEÍRÁS (11) Lajatromstám: 202451B ORSZÁGOS TALÁLMÁNYI HIVATAL (45) ----------------------------------------------------------------------- (51) Int. Cl.5 Bejelentés napja: 1989.04.03. (21) 3400/89 C 01 B 21/068 Bejelentés elsőbbsége: (4422423) 1988.05.24. SU Nemzetközi bejelentési szám: PCT/SU89/00086 Nemzetközi közzététel száma: W089/11447 Közzététel napja: 1990.08.28. Megadás meghirdetésének dátuma a Szabadalmi Közlönyben: 1991.03.28. (72) Feltalálók: MERZHANOV Aleksandr Grigorjevics, BOROVINSKAJA, Inna Petrovna, MAKHONIN Nikolaj Sergeevics, KUSTOVA Lidia Vasiljevna, Csernogolovka, POPOV Leonid Sergeevich, Moszkva, (SU) (73) Szabadalmas: Institut Strukturnoi Mákrokinetikia Akademii Nauk SSSR Csernogolovka (SU) (54) ELJÁRÁS NAGY oC— FÁZIS-TARTALMÖ SZILÍCIUM— —NITRID ELŐÁLLÍTÁSÁRA (57) KIVONAT A találmány szerinti eljárásban a reakcióba lépő szilíciumot és adalékanyagot tartalmazó töltetet megnövelt nyomású nitridáló közeggel érintkeztetik, a terméket önfenntartó, magas hőmérsékletű szintézissel állitják elő. A reakcióhoz fémsziliciuraot és adalékanyagként a szilícium tömegének 1-60%-át kitevő mennyiségben legalább egy ammonium-halogenidet alkalmaznak. Az önfenntartó, magas hőmérsékletű szintézist 4-30 MPa nyomáson hajtják végre. A leírás terjedelme: 8 oldal, rajz nélkül HU 202451B
