201628. lajstromszámú szabadalom • Eljárás egymástól kis távolságban lévő fém alakzatok hordozón, különösen félvezető hordozón történő kialakítására
HU 201628 B Int Ci5 H 01 L 21/28 2.ábra
/
HU 201628 B Int Ci5 H 01 L 21/28 2.ábra