201628. lajstromszámú szabadalom • Eljárás egymástól kis távolságban lévő fém alakzatok hordozón, különösen félvezető hordozón történő kialakítására
11 HU 201628 B 12 vagy ahhoz képest ferde irányban, a második fémréteget (9A, 9B) pedig a hordozóra (1) merőleges iránytól maximálisan ±20 “-kai eltérő irányban visszük fel. (Elsőbbsége: 1989. 11. 06.) 12. Az 1-11. igénypontok bármelyike szerinti eljárás, azzal jellemezve, hogy a fotoreziszt réteget (3) az első fém alakzatnak megfelelő szelektív eltávolítás előtt klór-benzollal kezeljük. (Elsőbbsége: 1989. 11. 06.) 13. Az 1. igénypont szerinti eljárás, azzal jellemezve, hogy a legalább egy szigetelőréteget (2) az első fém alakzatnak megfelelő helyeken izotróp kémiai marással két lépés- 5 ben távolitjuk el, és a két lépés között a fotoreziszt réteg (3) laterális méretét kémiai marással csökkentjük és/vagy a fotoreziszt réteget (3) hőkezeléssel összehúzatjuk. (Elsőbbsége: 1989. 11. 06.) 10 Kiadja az Országos Találmányi Hivatal, Budapest - A kiadásért felel: dr Szvoboda Gabriella osztályvezető R 4973 - KJK 91.3526.66-13-2 Alföldi Nyomda Debrecen - Felelős vezető: Szabó Viktor vezérigazgató 8
