201421. lajstromszámú szabadalom • Eljárás alacsonynyomású gázkisülő fényforrás szivattyúzására
I [lmbar/s / p [ mbar J HU 201421 B 5 2.ábra 5
/
I [lmbar/s / p [ mbar J HU 201421 B 5 2.ábra 5