200845. lajstromszámú szabadalom • Eljárás és berendezés nagybonyolultságú és nagysebességű integrált áramkörök dinamikus átviteli tulajdonságainak mérésére
23 Hü 200845 A 24 egyedi tulajdonságainak függvényében elég széles tartományban változhatnak. A 12. ábra a találmány szerinti eljárással végzett, egy Igen egyszerű paramétermérést szemléltet. A találmány szerinti eljárás lényegének ismertetésén túl hangsúlyozni kell, hogy a méren dő 12 integrált áramkör „n” számú bemeneti és „m” számú kimeneti Mb, Mk mérővonalához tartozó Khi, Kh2 helyreállító korrekciós karakterisztika egymástól eltér, mégpedig a gyakorlati megvalósítás alkatrész-szórásából kifolyó lag. A jellegük azonban azonos, így egy átlagos karakterisztika és az attól eltérő Mb, Mk mérővonalankénti egyedi korrekció összegeként kerülnek eltárolásra. Kihangsúlyozni szükséges, hogy a találmány szerinti eljárás elvi leírásánál elhanyagolásra kerültek az egyszerű geometriai különbözőségekből adódó késleltetési idő eltérések. Egyértelmű, hogy abban az esetben, ha a mérendő 12 integrált áramkör közvetlen 11 mérőhelyének „n” számú bemeneti és „m” számú kimeneti pontjait illesztetten rövidrezárjuk, akkor a bemeneti és kimeneti Mb, Mk mórővonalon tárolt jelek közötti tpd késleltetési idő értéknek nullának kell lennie. Minden ettől való eltérés geometriai eltérésre vezethető vissza, amely az „n" számú bemeneti és „m” számú kimeneti Mb, Mk mérővonal mindegyikén az egyedi késleltetési idő korrekció alkalmazását igényli, amely a mindenkori konkrét tpd késleltetési idő mérések eredményével összeadódik. Kiemelendő, hogy a tpd késleltetési idő korrekciók megmérése csak a találmány szerinti eljárással végzett jelalak-korrekciók teljes alkalmazása után történhet meg. A találmány szerinti eljárás további megoldá sa azon tényezővel foglalkozik, amely szerint az „n” számú egyidejűleg programozható és időzíthető f1(t) gerjesztőjel egymáshoz viszonyított idő pontatlansága (skew-time elnevezés a speciális műszaki irodalomban) legyen a legminimálisabb, illetve legyen beállítható bármelyik i-edik f 1 (t) gerjesztőjel időzítése egy másik i+1-edik f 1 (t) gerjesztőjelhez képest nagy pontossággal. Az eljárás ezen részének elvi alapjaihoz magyarázatul szolgál a 13. ábra. Az eljárás során ismert módon előállításra kerül nagystabilitású 1 időalapjel generátorral a TßASE időalapjel, amely meghatározó a végső mérési jitter szempontjából. Emellett szükséges kijelölni az 5 időzítő rendszer 3 referencia pontján a Tref referencia időpontot, mivel az igen rövid mérési idők esetén a geometriai elhelyezkedésnek meghatározó szerepe van. (Koaxiális kábelen mérhető terjedési idő 2 cm-es hoszszúságon kb. 100 ps). Az ismert megoldáshoz hasonlóan 2 referencia kábelen keresztül időben eltolt Tbase időalapjel kerül az 5 időzítő rendszer bemenetére, amely által a Tbase időalapjel és a „k” számú TMR|...TMRi< időzítőjelek fázishelyes időegyüttfutása biztosított. Az 5 időzítőrendszer létrehoz „k” számú TMRi...TMRk időzítőjelet, amelyeknek időpontosságát tetszőleges előírt értékhez, vagy egymáshoz viszonyítva a 4 időmérő méri átlagidőtartammórő mérési funkcióban. A 4 Időmérő mérési eredményéből és a programozott TMR|...TMRk időzítőjel értékéből képzett különbséggel a 22 rendszervezérlő a 23 BUS csatornán szabályzást hajt végre mindaddig, amíg a mérési információk és az előírt Időértékek különbsége egy előre megállapított küszöbérték alá nem kerül. Az ismert megoldáshoz hasonlóan a 7 PIN logika számos más funkciója mellett minden időzítő csatorna számára általánosan ismert időtoló elemeket tartalmaz. Az „n” számú kimeneti jel a 7 PIN logika kimenetéről egyrészt a 8 driverelemre jut, másrészt a 9 kapuelemen keresztül, amely a megfelelő vonalmeghajtást biztosítja, eljut vissza a 4 időmérőhöz mérés és szabályzás céljából, mint második H2 mérő és szabályozó hurok, A találmány szerinti eljárással, amely harmadik H3 mérő és szabályzóhurok alkalmazására alapoz, a 8 driverelem kimenetén megjelenő „n” számú programozható és időzíthető f1(t) gerjesztőjel két különböző terhelési viszony mellett jelenik meg a közvetlen 11 mérőhelyen, a jeleket a 14. ábra szemlélteti. Egyrészt amikor a mérendő 12 integrált áramkör nincs a közvetlen 11 mérőhelyre helyezve (Cl = OpF), emellett a bemeneti Mb mérővonalak mind illesztettek. Ekkor mód van a bemeneti koaxiális 14 demultiplexeren és a bemeneti 17b mintavevőn át leképezni az fcHt(t) bemeneti mintavett jelet sorban az „n” számú f 1 (t) gerjesztőjelnek a bemeneti koaxiális 14 demultiplexerre történő rákapcsolásával és az eljárás szerinti műveleteket elvégezni. Ez a szabályzóhurok a találmány szerinti eljárásnál alkalmazott harmadik H3 mérő és szabályzó hurok. Másik esetben ismeretlen Cl kapacitás terheli a mérendő 12 integrált áramkör bemeneti terheléséből kifolyólag a közvetlen 11 mérőhely bemeneti pontjára érkező jelet, amely a Cl kapacitás hatására ismeretlen mértékben eltorzul. A harmadik H3 mérő és szabályzó hurok működése ez esetben is azonos. Világos, hogy az „n” számú bemeneti pontra kerülő különböző értékű Cl kapacitások hatására a 11 közvetlen mérőhely bemeneti pontjain különböző értékű Cl kapacitások hatására a közvetlen 11 mérőhely bemeneti pontjain különböző mértékben eltorzított f 1 (t) gerjesztőjelek jelennek meg. A fentiek alapján két különböző feladat fogalmazható meg: — legyen valamennyi „n” számú f 1 (t) gerjesztőjel pl. 50%-os értékű jelalakpontja azonos időpillanatban vagy előírt egymáshoz viszonyított, eltolt időpillanatokban a közvetlen 11 mérőhely bemeneti pontjain, amikor a Cl = OpF valamennyi bemeneti ponton, — legyen valamennyi „n" számú f 1 (t) gerjesztőjel pl. 50%-os értékű jelalakpontja azonos időpillanatban vagy előírt egymáshoz vlszonyí-5 10 15 20 25 30 35 40 45 50 55 60 65 14
