200845. lajstromszámú szabadalom • Eljárás és berendezés nagybonyolultságú és nagysebességű integrált áramkörök dinamikus átviteli tulajdonságainak mérésére
19 HU 200 845 A 20 találmány szerinti eljárás gyakorlati alkalmazása során elhanyagolhatók. A bemeneti, kimeneti Kcm(t) és KcH2(t) korrekciós karakterisztika megállapítása ismételt mérési és közelítési lépések megtételével a két Mb, Mk mérővonalra jellemző korrekciós karakterisztikákat alkotó diszkrét értékek folyamatos finomításával történik mindaddig, amíg az fcHis(t), fCH2s(t) mintavett átmeneti jel az fKCHis(t), fKCH2s(t) korrigált mintavett átmeneti jellel a gyakorlatban megegyezik, illetve előírt pontossággal leképezi a lemért eredeti f1s(t) egységugrás jelalakot. A 7. ábra szemlélteti vázlatosan az előzőekben leírt jeleket, ahol a bemeneti, kimeneti Kcm(t) és KcH2(t) első korrekciós karakterisztikát négy diszkrét K1, «2, K3, K4 szignifikáns ponttal vettük figyelembe . Az (V) és a (VI) jelölésű egyenlet szerinti műveletek elvégzésének eredményeként végül is a találmány szerinti eljárás az időtartományban állítja helyre mind a bemeneti, mind a kimeneti Mb, Mk mérővonalon a lemért f1s(t) egységugrás jelalakot, eltüntetve a két Mb, Mk mérővonal saját torzító tényezőit. Ugyanezen műveletek elvégzése általánosítva minden kapcsolójel jellegű mérendő jel lemérése esetén hasonló eredményre vezet. A találmány szerinti eljárás műveleteinek elvégzése kizárólag — a célkitűzésnek megfelelően — a kapcsolójelek mérésére korlátozódik. A találmány szerinti eljárás eddig ismertetett műveleteit első korrekciónak nevezzük. A találmány szerinti eljárás további műveleteinek, azaz a második korrekciónak az elvégzése a következőképpen történik. A 6. ábra szerint a mérendő 12 integrált áramkör közvetlen 11 mérőhelyéről eltávolítjuk az etalon 13 tápvonalat és illesztett lezáráson a külső etalon sampling 24 oszcilloszkóppal mérve a ír/f dut in kapcsolási időt addig változtatjuk az f1g(t) gerjesztett jel 11 gR/F kapcsolási idejét, amíg az az adott mérendő 12 integrált áramkörre jellemző ír/f dut iNm kapcsolási időt nem szolgáltatja a közvetlen 11 mérőhelyen, annak illesztett állapotában. Egyúttal lemérjük az f 1 g(t) gerjesztettjei aktuális tigR/Fm tényleges kapcsolási idejét. Példaként legyen előírás a ír/f dut iNm = =400 ps, amely megfelel a GaAs IC típuscsalád igényelt kapcsolási idő paraméterének. A 2. ábrából kiemelt 6. ábrát tekintve könnyen következtethető, hogy a tigR/Fm tényleges kapcsolási idő ennél biztosan kevesebb kell, hogy legyen, például tigR/Fm = 300 ps. A gondolatmenetünkhöz tartozik az is, hogy az etalon 13 tápvonal visszahelyezésével a mérendő 12 integrált áramkör közvetlen 11 mérőhelyének mind a bemeneti, mind a kimeneti pontján ugyanazon jel van valósan jelen. Ennek megfelelően azonosak a kapcsolási idők is, így tR/F DUT INm = tR/F DUT OUTm = 400 ps. A találmány szerinti eljárás második lépéseként tehát a bemeneti, kimeneti Kcm(t) és KcH2(t) első korrekciós karakterisztika olyan 12 módosítása történik, amelynél a 3. ábra szerinti F2(p) átviteli függvény hatását vesszük figyelembe. Az F2(p) = 1 feltételes egyenlőség a gyakorlatban a kimeneti Mk mérővonal ezen részének maximális gondosságé kialakítása esetén sem teljesül. A 6. ábra szerint elvégzett mérésből megállapítható a Kp2(t) második korrekciós karakterisztika, amely szintén pontsorozatból tevődik össze. A KF2(t) második korrekciós karakterisztika pontjainak megállapítása a leírt módon a bemeneti, kimeneti Kcm (t), KcH2(t) első korrekciós karakterisztika meghatározásával azonos módon történik. Eredményként az ott megállapított Ki, «2, K3, «4 szignifikáns pontokat módosító diszkrét értékek jönnek létre, mégpedig olyanok, hogy mind a bemeneti, mind a kimeneti Kcm(t), KcH2(t) első korrekciós karakterisztika korrigáló — jelmeredekségvisszaállítás — hatását mérsékeljék, a tigR/Fm = 300 ps és tR/F DUT INm = 400 pS jellassulásnak megfelelően. Az eddigi két eljárási művelet eredményét jelentő bemeneti, kimeneti Kcm(t), KcH2t(t) első korrekciós karakterisztikából, továbbá a KF2(t) második korrekciós karakterisztikából meghatározható a közvetlen 11 mérőhely bemeneti és kimeneti pontjára normált bemeneti, kimeneti Kxcm(t), KxcH2(t) harmadik korrekciós karakterisztika az alábbiak szerint: A bemeneti Mb mérővonal harmadik korrekciós karakterisztikája KxcHi(t) = KcHi(t) x Kf2(í) (VII) A kimeneti Mk mérővonal harmadik korrekciós karakterisztikája KxCH2(t) = KcH2(t) X KF2(t) (Vili) A bemeneti, kimeneti Kxcm(t), KxCH2(t) harmadik korrekciós karakterisztika megállapítása és eltárolása a találmány szerinti mérési eljárás érdemi eredményét jelenti. A tárolt bemeneti Kxcm(t) és KxcH2(t) harmadik kbrrekciós karakterisztika segítségével a dinamikus paraméterek mérése során minden esetben az alábbi műveletek elvégzése történik: a bemeneti Mb mérővonalra: fCH 1 (t) X KxCh 1 (t) = fKCH1 (t) s fouT IN(t) (IX) illetve a kimeneti Mk mérővonalra: fCH2(t) x KxCH2(t) = fKCH2(t) 3 fDUT OUT(t) (X) A (IX) és (X) egyenlet minden esetben a találmány szerinti eljárásban alkalmazott Időtartománybeli egyszerűsített konvolúció ismételt elvégzését jelenti. A (IX) és (X) egyenlet szerint a találmány szerinti eljárás eredményeként elsősorban kapcsolójel típusú bemeneti, kimenetifcHi(t), fcH2(t) mintavett jel esetén helyreállításra kerülnek a 5 10 15 20 25 30 35 40 45 50 55 60 65
