200841. lajstromszámú szabadalom • Berendezés röntgenfluoreszcens analízishez
5 HU 200841 B 6 vagy nagyméretű minták analízisére kívánjuk használni. Kis méretű minták esetén fontos, hogy a 7 minta környezetében minél kevesebb anyag legyen, ezért a 7 mintát a fazékszerűen kialakított 4 mintatartó nyílására kifeszített vékony (1—10 p,m) műanyag (mylar, hostaphan stb.) 13 fóliára ragasztjuk fel. Az 5 blende furata egytengelyű a kilépő 6 kollimáló furat tengelyével, Ily módon érjük el azt, hogy a gerjesztő 15 elektronsugár kedvező pontban sugározza be az 1 targetet. A 2 targettartóról lefolyó áram mérésének kettős szerepe van. Egyrészt a mikroszkóp elektronoptikai centrálását úgy végezzük el, hogy maximális elektronáram folyjon le a 2 targettartóról, másrészt röntgenfluoreszcens analízis közben is a 12 árammérő ad tájékoztatást a rendszer állapotáról. A 11 fémkorbács és a cseppfolyós 10 nitrogén csapda a 2 targettartó esetleges hűtésére szolgálnak, bár gyakorlatunkban 1 W-nál kisebb teljesítmény alkalmazásakor a hűtésre nem volt szükség. A találmány szerinti berendezés segítségével lehetővé válik 0,1—10,0 mm átmérőjű terepek nyomelem analízise és az energiadiszperzív mikroanalízisnél 1 —3 nagyságrenddel Jobb detektálási határokat biztosít. Ezek az előnyök abban a formában is realizálhatók, hogy azok a legkisebb koncentrációk, amelyekkel elektronsugaras mikroanalízisben vonalmenti, vagy kétdimenziós elemeloszlást még mérni lehet, 1—3 nagyságrenddel kedvezőbbek a találmány által javasolt röntgenfluoreszcens technikával. A találmány szerinti röntgenfluoreszcens berendezést elektronmikroszkópban, pl. pásztázó elektronmikroszkópban lehet alkalmazni. így a jó laterális felbontóképességen és az elektronsugaras mlkroanalízishez viszonyított kiváló detektálási határokon kívül a következő előnyök Is adódnak: a) A röntgenfluoreszcens analízisen kívül elektronsugaras mikroanalízis is végezhető, ha a detektort a targettartóval együtt visszahúzzuk az elektron sugármenetből. Ehhez a vákuumrendszer fellevegőzóse nem szükséges. b) A lokális analízisnél szükséges nagy célzási pontosságot mind elektrongerjesztés, mind pedig röntgen gerjesztés esetére a mikroszkópban meglévő elektronoptikai és fényoptikai képalkotás lehetősége segíti. Kereskedelmi röntgenfluoreszcens berendezésekben még a fénymikroszkópos megfigyelés lehetősége sincs biztosítva. c) Az elektronmikroszkóp visszaszórt elektron detektora alkalmas a különböző fázisú tartományok szelektálására az analízis megkezdése előtt. d) A pásztázó elektronmikroszkóp precíziós mintatartó asztala lehetővé teszi a minta mozgását a röntgensugár alatt és ezáltal vonalmenti, vagy kétdimenziós elemeloszlás felvételét. e) A pásztázó elektronmikroszkóp katódlumlneszcens detektora lehetővé teszi a látható, 4 vagy Infravörös tartományban világító terepek kiválasztását az analízisre. A találmány szerinti röntgenfluoreszcens berendezés előnyösen alkalmazható kis méretű szemcsék analízisében a porkohászat, kerámia Ipar, katalizátor hordozók területén. Tömbanyagú minták vonatkozásában geológiai mintáknál a főkomponensek és nyomelemek közötti korreláció megállapítására, félvezető technikában a dopolók koncentrációjának és vonalmenti eloszlásának mérésére, kohászatban pedig a mlkroötvözők eloszlásának meghatározására használható, hogy a lehetséges alkalmazások közül csak néhányat említsünk. SZABADALMI IGÉNYPONTOK 1. Berendezés röntgenfluoreszcens analízishez, amelynek belépő elektronsugár útjában targettartóban elhelyezett, az elektronsugár hatására röntgensugárzást kibocsátó, targetje, az analizálandó mintát a targetről kibocsátott röntgensugárzás útjában rögzítő mlntatartója és a mintáról kibocsátott szekunder röntgensugárzást érzékelő detektora van, amely detektorhoz röntgenspektromóter van csatlakoztatva, azzal jellemezve, hogy targettartónak (2) és a mlntatartónak (4) a mintát (7) körülvevő és a detektorhoz (8) csatlakozó falai a röntgensugárzás szempontjából zárt teret képeznek, amely falak legalább két rétegből (21, 22, 23; 41, 42, 43) vannak kialakítva, ahol az egyik réteg (22; 42) röntgensugárzást erősen abszorbeáló, nagy rendszámú anyagból, előnyösen ólomból van, egy másik réteg (23; 43) pedig alacsony rendszámú anyagból, előnyösen alumíniumból van. 2. Az 1. Igénypont szerinti berendezés, azzal jellemezve, hogy a falak két alumínium réteg (21, 23; 41,43) között elhelyezett ólom rétegből (22; 42) vannak kialakítva. 3. Az 1. vagy 2. igénypont szerinti berendezés, azzal jellemezve, hogy a mlntatartó (4) fazékszerűen van kialakítva, amelynek nyílására az analizálandó mintát (7) tartó vékony fólia (13) van kifeszítve. 4. A 3. igénypont szerinti berendezés, azzal jellemezve, hogy a fólia (13) műanyagból van. 5. A 3. vagy 4. Igénypont szerinti berendezés, azzal jellemezve, hogy a mintatartó (4) falának belső felületén a target (1) anyagával megegyező anyagú bélés (14) van. 6. Az 1—5. Igénypontok bármelyike szerinti berendezés, azzal jellemezve, hogy a targettartó (2) egy első átmenő nyílással (16) ellátott test, amelynek az első átmenő nyílás (16) tengelyére merőleges egyik vége a detektorhoz (8) van csatlakozva, másik vége pedig a tengelyhez képest ferdén van levágva, továbbá a test falában a targettel (1) lezárt második átmenő nyílás van kiképezve. 7. Az 1—6. Igénypontok bármelyike szerinti berendezés, azzal jellemezve, hogy a targettartóban (2) a target (1) cserélhető betétben van elhelyezve, amely betét (3) falai legalább két rétegből (31,32,33) vannak kialakítva, ahol az 5 10 15 20 25 30 35 40 45 50 55 60 65
