200372. lajstromszámú szabadalom • Berendezés magas olvadáspontú fémoxid egykristályoknak olvadékból történő növesztésére
1 HU 200372 B 2 kapcsolja össze a 23 mozgató orsót. A 43 motor a 17 felső rudat addig mozgatja lefelé, amíg a beoltó kristály az olvadékba nyúlik. Akkor a 17 felső rudat a 43 motorral elkezdjük lassan felfelé mozgatni és megkezdjük a 15 egykristály növesztését. A 15 egykristály az 5. ábrán látható 61 vonórúdon át húzóerőt fejt ki a 62 jeladóra. Ezt a jelet a rajzon nem látható számítógépes egységbe továbbítjuk, ahol az referenciajelként működik a folyamat szabályozásában. Az olvadékok tulajdonságaitól függően lehet a 12 tégely mozgását is a 21 hajtómű segítségével ugyanilyen módon biztosítani. Az üzemelés során a hűtővizet az 5. ábrán látható 58 csatlakozócsonkon át vezetjük be. Onnan a folyadék az 52 és 53 csövek közötti térben lefeléáramlik, majd 54 sugárirányú válaszfalak másik oldalán felfelé halad, végül az 59 csonkon lép ki. A találmány szerinti berendezés tehát az 1 alaplap, a 2 állvány, a 3 tartóoszlop, a 4 konzol, az 5 növesztőkamra és a 6 támasztó által alkotott merev keretet tartalmaz, amely csökkenti a berendezésben keletkező lengések átvitelét a 20, 21 hajtóművekről a 15 egykristályra. Ennek megfelelően a találmány szerinti berendezéssel a korábbinál lényegesen jobb optikai tulajdonságú egykristályok készíthetők. Az elektromágneses tengelykapcsolók alkalmazásával lehetővé válik a golyóbetétes mozgató csavarszerkezet leválasztása a meghajtómotorról, és így a hagyományos megoldásokkal ellentétben a motor terhelése nem befolyásolja az előtolást. Ugyancsak hozzájárni a mechanikai zavaró körülmények csökkentéséhez a golyóbetétes mozgató csavarszerkezet konstrukciója, amelyben a két anya egymáshoz képest 5-8 kg-cm nyomatékkai van meghúzva. Az anyák ezenkívül olyan perselyben vannal elrendezve, amelynek csapjai a mozgató orsó és a szán irányára merőleges síkban fekszenek. Ezáltal a szán önbeállása válik lehetővé. További előnyt jelent, hogy a rudakat két egytengelyű csőből alakítottuk ki, így olyan hűtőközeg-járatokat tartalmaznak, amelyekben a hűtőközeg egészen a beoltókristály tartóig lefolyik, majd onnan visszafelé áramlik, azaz igen hatékony hűtést biztosít. Ez teszi lehetővé, hogy az alkalmazott rudak átmérőjét is csökkenteni lehessen, ami viszont tovább csökkenti a motor terhelését és ezáltal az egyes alkatrészek berezgésének lehetőségét Mindezen előnyök következtében a találmány szerinti berendezés lehetővé teszi magas olvadáspontú fémoxidokból olyan jó minőségű egykristályok előállítását amelyekben jelentős mértékben csökken a kristályok lineáris struktúrája és a doménszám. A törésmutató lokális egyenetlenségei például lítiumniobát egykristály esetében öt-nyolcszoros értékkel csökkennek, míg a monodomén struktúrájú szakaszok hossza négy-hatszorosára növekszik. A találmány szerinti berendezés különösen alkalmas olyan magas olvadáspontú fémoxidok olvadékából történő egykristály növesztésre, mint a lítiumniobat, lítiumtantalát, ittriumagyag-gránát, zafír, rubin és más hasonló anyagok. SZABADALMI IGÉNYPONTOK 1. Berendezés magas olvadáspontú fémoxid egykristályoknak olvadékból történő növesztésére, amely berendezés vízszintes alaplapot, az alaplapon rögzített függőleges állványt és tartóoszlopot, a tartóoszlopra konzol segítségével mereven rögzített növesztő kamrát tartalmaz, ahol a növesztő kamrában olvasztótégely és beoltókristály tartó van alsó és felső rúdon rögzítve oly módon, hogy a növesztő kamra házához képest alternáló- és forgómozgást végezhetnek, azzal jellemezve, hogy a növesztő kamra (5) alsó része az alaplaphoz (1) kapcsolt támasztóval (6) van mereven összekötve, oly módon, hogy az állvány (2) és a tartóoszlop (3), valamint a konzol (4), a növesztő kamra (5), a támasztó (6) és az alaplap (1) zárt, merev keretet képez. 2. Az 1. igénypont szerinti berendezés, azzal jellemezve, hogy a támasztó (6) üreges testként van kialakítva és benne az alsó rúd (13) mozgatására szolgáló hajtómű (21) van elrendezve. 5 10 15 20 25 30 35 40 5
