199906. lajstromszámú szabadalom • Berendezés magnetronos porlasztással vákuumban történő rétegfelvitelre
(19) Országkód: HU SZABADALMI LEÍRÁS (11) Laj&tromszám: 199908 B (51) Int Cl5 jJk*k (22) Bejelentés napja: 1986.10.22. (21)4387/86 ,y ír -(89) 41747 l.sz. BG (40) Közzététel napja: 1988.05.30. C 23 C 14/00 MAGYAR KÖZTÁRSASÁG ORSZÁGOS TALÁLMÁNYI (45)Megadás meghirdetésének dátuma HIVATAL a Szabadalmi Közlönyben: 1990.03,28. (72) Feltalálók: Kanev Mitjo Jordanov, Usunov Zanko Dimitrov, Dochev Docho Danev, Kasandzhiev Dimiter Iliev, okl.mérnökök, Rusze, BG (73) Szabadalmas: V T U *A. Kanchev-, Ruize, BQ (54) Berendezés magnetronos porlasztással vákuumban történő rétegfelvitelre (57) KIVONAT A találmány tárgya berendezés magnetronos porlasztással vákuumban történő rétegfelvitelre. A találmány lényege, hogy a magnetronrendszer (1) - a felsorolt sorrendjében - egymásba helyezett, nullázott árnyékoló csővel (2), szigetelő csővel (3), árambevezető csővel (4) és belső csővel (5) mereven össze van kötve. Az árambevezető cső (4) és a belső cső (5) hűtőfolyadékot bevezető rendszert képez, míg az árnyékoló cső (2) és a szigetelő cső (3) közötti térben munkagázt átbocsátó cső (9), valamint villamos vezetékanód (10) van elrendezve. Az árnyékoló cső (2) és az árambevezető cső (4) szigetelő testekkel (6, 7) egymástól villamosán el van szigetelve és tömitő gumigyűrűkkel (8) légmentesen el van zárva. A magnetronrendszert (1) és a hajtást összekötő árnyékoló cső (2) pedig elzárószerkezeten (12) keresztül vákuumtérbe torkollik. láb*». A leírás terjedelme: 3 oldal, 1 ábra HU 199906 B
