199196. lajstromszámú szabadalom • Eljárás termovillamos elem előállítására
199196 kelt, palládiumot, vagy platinát helyezünk 0,02—0.04 mm vastag fólia, vagy háló formájában, az alkatrészeket a termooszlopok (1 és 2) keresztmetszetén 0,05—0,15 MPa nyomást létrehozó, az oszlopok hosszirányával azonos irányú erőkkel összeszorítjuk, majd a szorítóerők irányából jövő hőközléssel a hidat és/vagy papucsokat egyidőben, vagy egymás után 1000—1300°C közötti hőmérsékleten addig izzítjuk, amíg a platina, vagy palládium, vagy nikkel helyén keletkező olvadt fázis az érintkező felületek látható peremvonalát körbenedvesítve egyenletesen el nem terül. 2. Az 1. igénypont szerinti eljárás, azzal jellemezve, hogy az n-típusú termooszlopot (1) foszforral adalékolt, 1,3—1,7 mOhmcm fajlagos ellenállású, Ge0 3Si0>7 összetételű öntött polikristályos anyagból,’ a p-típusú termooszlopot (2) borral adalékolt, 0,8— 1,2 mOhmcm fajlagos ellenállású, Geo>3Si0j7 összetételű, öntött polikristályos anyagból készítjük, a melegoldali híd anyagának összetételét Mo*COÿSi,_/x+ÿ/ -nak választjuk, ahol x értéke 0,03-tól 0,07-ig, y értéke 0,025— 0,045 között változhat, a wolframpapucsok (4) termooszlop felőli felén pedig vékony szilíciumréteget hozunk létre. 3. Az 1. vagy 2. igénypont szerinti eljárás, azzal jellemezve, hogy az összeszorítás és irányított hőközlés előtt a platina és/vagy a palládium, és/vagy a nikkel és/vagy az alkatrészek illeszkedő felületére olvadt paraffint viszünk fel, amelyet hűtéssel megszilárdítva az alkatrészeket egymáshoz pozicionáltan rögzítjük, a paraffint pedig a hőkezelés során elpárologtatjuk. 4. Az 1—3. igénypontok bármelyike szerinti eljárás, azzal jellemezve, hogy az al-7 katrészek összeszorítását gravitációs erővel végezzük oly módon, hogy az alkatrészek pozícionált együttesét a termooszlopok (1 és 2) függőleges irányú helyzetében szilárd 5 alapzatra állítjuk, föléje pedig olyan tömeget helyezünk, amellyel a termooszlopok (1 és 2) keresztmetszetén 0,05—0,15 MPa nyomást hozunk létre. 5. Az 1—4. igénypontok bármelyike sze-10 rinti eljárás, azzal jellemezve, hogy az alkatrészek pozícionált együttesét két grafittömb (7) közé szorítjuk, e grafittömböket (7) nagyfrekvenciás tekercs (14) segítségével egyszerre, vagy külön-külön izzítva hozzuk 15 létre az alkatrészeket felizzító irányított hőközlést. 6. Az 1—5. igénypontok bármelyike szerinti eljárás, azzal jellemezve, hogy a po-20 zícionált alkatrészek izzítását vákuumban végezzük. 7. Az 1—6. igénypontok bármelyike szerinti eljárás, azzal jellemezve, hogy az alkalmazott wolframpapucsok (4) termooszlop 25 (1 és 2) felőli oldalára az elemek összeállítását megelőzően-vákuumban vékony sziliciumréteget olvasztunk. 8. Az 1—7. igénypontok bármelyike sze-3Q rinti eljárás, azzal jellemezve, hogy az alkatrészeket egymáshoz rögzítő hőközlést követő kihűlés után réztartalmú ezüstforrasszal vékonyan befuttatott, a wolframpapuccsal (4) azonos méretű nikkelháló darabot for-35 rasztunk a wolframpapucs (4) szabad talpfelületére, a forrasztáshoz használt szokásos folyatószer nyomait pedig az elkészült termovillamos elem felületéről homokfúvással gondosan eltávolítjuk. 8 1 lap rajz, 1 ábra 6
