199087. lajstromszámú szabadalom • Optikai berendezés lézeres vetítő mikroszkóppal
5 HU 199087 B 6 lain int 32 és 33 ablakokat tartalmaz. A 30 és 31 fémelektródák a 15 nagyfeszülétségű impulzusgenerátorhoz vannak csatlakoztatva. A 12 festéklézer a 11 diszperzió elemmel hangolható. Ilyen módon az 1 erôsitôcsô által kibocsátott vizsgáló fénysugár és a 12 festéklézer által kibocsátott beavatkozó lézersugár hullámhossza eltérhet egymástól. A találmány szerinti berendezésben a 3 tárgyon létrehozott mikrostruktúra átmérője beavatkozó lézersugár divergenciájával, mélysége vagy magassága pedig intenzitásával változtatható. Az 1 erősitócsóvet és 9 lézert, illetve 12 festéklézert alkalmazó berendezés lehetővé teszi, hogy a közöttük lévő késleltetést a 15 nagyfeszültségű impulzusgenerátorral változtatva, gyors folyamatok vizsgálatát is elvégezzük. A berendezés működtetése különleges szakképzettséget nem igényel, biztonságtechnikai előírások a lézerekkel kapcsolatos előírásokkal kielégithetóek. A találmány szerinti berendezés felhasználható 0,5-10 um átmérőjű területen, illetve 0,5-10 pm széles vonalas ábra mentén történő beavatkozásra, igy a mikroelektronikában integrált áramkörök előállítására, utólagos megmunkálásra, maszk készítésre, javításra; a biológiában és orvosi gyakorlatban kisméretű műtéti beavatkozásra, sejten belüli műtétekre, gén manipulációra; a kolloidikában szűrők kis átmérőjű lyukainak készítésére. SZABADALMI IGÉNYPONTOK 1. Optikai berendezés lézeres vetítő mikroszkóppal, amelynek valamely tárgy képét érzékelő vagy megjelenítő ernyőre optikai erősítöcsővön kersztül leképező mikroszkópobjektivje van, azzal jellemezve, hogy a aiikroszkópobjektív (2) és az ernyő (5) közötti sugárútban elhelyezett nyalábosztója (4) és a nyalábosztó (4) eltérítési sugárútjában elhelyezett, a tárgyon (3) beavatkozást létrehozó fénysugarat kibocsátó vezérelhető eszköze van. 2. Az 1. igénypont szerinti berendezés, azzal jellemezve, hogy a nyalábosztó (4) az optikai erôsitôcsô (1) és az ernyő (5) között van elhelyezve, és a beavatokozó fénysugarat kibocsátó vezérlelhetó eszköz egy vezérelhető fényzárat (6) és/vagy fényintenzitás leosztó elemet, valamint e(zek) mögött elhelyezett tükröt (7) tartalmaz. 3. A 2. igénypont szerinti berendezés, azzal jellemezve, hogy a tükör (7) reflektáló felülete a tárgyon (3) létrehozandó beavatkozás alakzatának megfelelően van kiképezve. 4. A 2. igénypont szerinti berendezés, azzal jellemezve, hogy a tükör (7) előtt a tárgyon (3) létrehozandó beavatkozás alakzatának megfelelő átlátszó maszk (14) van elhelyezve. f>. A 2-4. igénypontok bármelyike szerinti berendezés, azzal jellemezve, hogy a nyalábosztó (4) vagy a tükör (7) elforgathatóan van ágyazva és az elforgatást beállító 5 szervvel van ellátva. 6. Az 1. igénypont szerinti berendezés, azzal jellemezve, hogy a beavatkozó fénysugarat kibocsátó vezérelhető eszköz az optikai erősítőcsővel (1) összhangban működtetett 10 lézert (9) tartalmaz. 7. A 6. igénypont szerinti berendezés, azzal jellemezve, hogy a nyalábosztó (4) az optikai erôsitôcsô (1) és az ernyő (5) között van elhelyezve, és az optikai erôsitôcsô (1), 15 valamint a lézer (9) nzorios aktiv közeget tartalmaz. 8. Az 1. igénypont szerinti berendezés, azzal jellemezve, hogy a beavatkozó fénysugarat kibocsátó vezérelhető eszköz festéklé-20 zert (12) tartalmaz, amely az optikai erösitőcsövel (l) összhangban működtetett gerjesztő lézerhez (13) van optikailag csatlakoztatva. 9. A 8. igénypont szerinti berendezés, azzal jellemezve, hogy a nyalábosztó (4) 25 vagy az optikai erôsitôcsô (1) és az ernyő (5) között, vagy a mikroszkópohjektiv (2) és az optikai erôsitôcsô (1) között van elhelyezve. 10. A 6-9. igénypontok bármelyike sze-30 rinti berendezés, azzal jellemezve, hogy a lézer (9), illetve a festéklézer (12) és a nyalábosztó (4) között nyalábtágitó (8) van. 11. A 6-10. igénypontok bármelyike szerinti berendezés, azzal jellemezve, hogy a 35 lézer (9), illetve a festéklézer (12) és a nyalábosztó (4) között a tárgyon (3) létrehozandó beavatkozás alak Zalának megfelelő átlátszó maszk (14) van elhelyezve. 12. A 6-11. igénypontok bármelyike sze-40 rinti berendezés, azzal jellemezve, hogy a lézer (9), illetve a festéklézer (12) és a nyalábosztó (4) között ki/be-iktal.ható fényintenzitás leosztó elem (24) van elhelyezve. 13. A 6-12. igénypontok bármelyike sze-45 rinti berendezés, azzal jellemezve, hogy a lézer (9), illetve a festéklézer (12) egyik fényvisszaverő elemét diszperziv elem (11), előnyösen sik optikai rács képezi. 14. A 13. igénypont szerinti berendezés 50 azzal jellemezve, hogy a diszperziv elem (11) hangolhatóan van kialakítva. 15. A 6-14. igénypontok bármelyike szerinti berendezés, azzal jellemezve, hogy a nyalábosztó (4) vagy a lézer (9) illetve a 55 -festéklézer (12) elforgathatóan van ágyazva és az elforgatást beállító szervvel van ellátva. 16. A 6-15. igénypontok bármelyike szerinti berendezés, azzal jellemezve, hogy az 50 optikai erôsitôcsô (I.) és a lézer (9), illetve a gerjesztőlézer (13) egymáshoz képest késleltetett működést biztositó nagyfeszültségű generátorhoz (15) van csatlakoztatva. Kiadja az Országos Találmányi Hivatal, Budapest - A kiadásért felel: Ilimer Zoltán osztályvezető R-4896 - KJK
