199039. lajstromszámú szabadalom • Rétegszerkezet MOS és CMOS févezető eszközök előállítására és eljárás az előállítás megvalósítására
HU 199039 B Int Cl4 H 01 L 29/78 lábra 2.ábra A.ábra 5.ábra 6.ábra 7ábra 3.ábra ^ t [t t 6a í 6b S i—t:1 jr-L J | t \ 1 i \ 1 \ 1 l 6a 6b :a 7 1
/
