199021. lajstromszámú szabadalom • Eljárás és mérési elrendezés félvezető anyagok, különösen egykristály szeletek mély nívóinak nem destruktív úton történő kimutatására

(19) Orezágkód:

HU

SZABADALMI

LEÍRÁS

(11) Lajstromszám:

199021 B

SZOLGALAT! TALÁLMÁNY

(51) Int. Ct.<

(22) Bejelentés napja: 1985.09.09. (21) 3401/85

G 01 R 31/26

MAGYAR

KÖZTÁRSASÁG

(40)

ORSZÁGOS

TALÁLMÁNYI

HIVATAL

(45)

(72) Feltalálók:

dr. FERENCZI György, BODA János,

BIRICZ Péter, Budapest, (HU)

Közzététel napja: 1987.05.28.

Megadás meghirdetésének datuma a Szabadalmi Közlönyben: 1989.12.28.

(73) Szabadalmas:

50%, MTA Műszaki Fizikai Kutató

40%, Intézete, Budapest, (HU)

10%, 54

(54) ELJÁRÁS ÉS MÉRÉSI ELRENDEZÉS FÉLVEZETŐ

anyagok:, különösen egykristály szeletek:

MÉLY NÍVÓINAK NEM DESTRUKTÍV ÚTON TÖRTÉNŐ KIMUTATÁSÁRA

(571 KIVONAT

A találmány tárgya eljárás félvezető anyagok, különösen egykristály szeletek mély nívóinak nem destruktiv úton történő kimutatására differenciális mélynivó tranziens spektroszkópiával, amelynél Schottky átmenetet alakítunk ki és záróirányú elófeszitéssel kiürült tartományt hozunk létre. A mintát periodikus impulzusokkal gerjesztjük, majd a gerjesztés megszűnése után a termodinamikai egyensúlyba visszatérő minta tranziens válaszjelét detektáljuk.

A találmány tárgya továbbá mérési elrendezés félvezető anyagok, különösen egykristály szeletek mély nívóinak nem destruktív úton történő kimutatására differenciális mélynívó tranziens spektroszkópiával, amelynek a vizsgálandó mintát tartó mintatartója, amely mintatartóban a minta egy mérőkőr részét képezi, és a mérókőrhőz gerjesztést létesítő szerv, valamint válaszfüggvényt érzékelő méróegység csatlakozik és a mérőegység kimenetéhez jelfeldolgozó és kiértékelő egység kapcsolódik. Ezen mérési elrendezésben egy, az összes egységek időzítését meghatározó és múködésvezérlő egység is van.

A mintatartó (2), az erre helyezett szelet (12) másik oldalával jól vezető lapon keresztül kapcsolódó Peltier elem (15), ennek

A leírás terjedelme: 9 oldal, 3 rajz, 6 ábra

átellenes oldalához csatlakozó üreges tömb

(16), a tömb belső teréhez csatlakozó gázada- 5 goló szerkezet, a vezető laphoz kapcsolt hóérzékelő, továbbá folyékony fémet fogadó tartály van, a tartály a mintatartó (2) belsejében kiképzett járaton (5, 6) keresztül egy olyan vályúval közlekedik, amely a mintatartó 10 (2) lapsikján van kiképezve és a benne lévő fém a szelettel (12) érintkezik.

G0

HU 199021