199020. lajstromszámú szabadalom • Eljárás és berendezés félvezető rétegszerkezetek rétegvastagságának meghatározására
(19) Országkód: HU SZABADALMI LEÍRÁS (11) LajBtromszára: 199020B SZOLGÁLATI TALÁLMÁNY (22) Bejelentés napja: 1987.05.04. (21) 1989/87 MAGYAR köztársaság országos TALÁLMÁNYI HIVATAL (40) Közzététel napja: 1989.03.28. (45) Megadás meghirdetésének dátuma a Szabadalmi Közlönyben: 1989.12.28. (51) Int. Cl.4 G 01 N 27/06 G 01 R 31/26 i Találmányi /)£ Szabadalmi Tár. JVLAJDONjb. (72) Feltalálók: (73) Szabadalmas: dr. FERENCZI György, 40%, Magyar Tudományos Akadémia dr. ERDÉLYI Katalin, 20%, Műszaki Fizikai Kutató Intézete, dr. SOMOGYI Mária, 20%, Budapest, (HU) BODA János, 10%, FÜLE György, 5%, dr. ASZÓDI Gábor, Budapest, 5%, (HU) (54) ELJÁRÁS ÉS BERENDEZÉS FÉLVEZETŐ RÉTEGSZERKEZETEK RÉTEGVASTAGSÁGÁNAK MEGHATÁROZÁSÁRA (57) KIVONAT Eljárás félvezető rétegszerkezetek rétegvastagságának meghatározására, amelynek során egy a rétegszerkezetet hordozó félvezető 5 mintát (4) vizsgálnak, azt elektrolittal (2) érintkeztetik és anódosan marják, a marás ' közben az áram integrálása alapján meghatározzák a marás mindenkori mélységét, a mintát (4) a maróssal egyidejűleg periodikus 10 villamos jellel gerjesztik és mérik a minta admittanciájának a gerjesztés frekvenciáján felvett valós összetevőjét, azaz konduktanciáját, vizsgálják ezen összetevő szélsőértékeit és rögzítik a szélsőértékhez tartozó ma- 15 rási mélységek adatait, amelyek a minta (4) vizsgált rétegeinek az átmeneteit jelölik ki. Az eljárás foganatosítására alkalmas berendezés tartalmaz elektrolittal (2) töltött cellát (1), ennek elektrolitjába merülő szén 20 elektródot (5), telített kálóméi elektródot (6) és a minta (4) mart felületét körülvevő platina elektródot (7), a minta (4) marásnak nem kitett valamely felületével érintkező elektródokat (8, 9), potenciosztátot (13), amely a 25 kálóméi elektróddal (6) és egyenáramú áramforrással (15) kapcsolódik, a marási áram jelét fogadó áramintegrátort (14), a fémelektród és a minta (4) közé periodikus jelet kapcsoló generátort (15) és a mintának (4) a konduktanciáját mérő egységeket (16). (1. ábra) A leírás terjedelme: 5 oldal, 2 rajz, 2 ábra HU 199020 B
