199016. lajstromszámú szabadalom • Eljárás adott vastagságú szilícium membránok kialakítására változó vastagságú szilícium szeletből
1 HU 199016 B 2 mázó csip kiesik a marószerből, vagyis a maratás leáll ás a membrán az előírt méretű lesz. Szabadalmi igénypontok 1. Eljárás adott vastagságú szilícium membránok kialakítására változó vastagságú szilícium szeletből, melynek során az előnyösen (100) orientációjú kristály mindkét oldalán védőréteget hozunk létre és az egyik oldalon szabályozó, a másik oldalon pedig maró maszkot alakítunk ki a védőrétegben, majd a szabályozó maszkon keresztül leválasztó árkot hozunk létre és ezután vagy ezzel egyidőben maratjuk a membránt, mindaddig, amíg a maratás leválasztó árokig nem ér és miután az árok mentén körbe maródott a szilícium, létrejön a membránt tartalmazó csip, azzal jellemezve, hogy miután a maratással leválasztott csipek a szilícium szeletből kihullanak, a kihullott csipeket a maratószerből azonnal eltávolítjuk. 2. Az í. igénypont szerinti eljárás, azzal jellemezve, bogy a maratás megkezdése előtt a marószer alá a marószernél nagyobb sűrűségű, a marószerrel nem elegyedő és a szilíciummal szemben közömbös védő folyadékot helyezünk. 3. A 2. igénypont szerinti eljárás, azzal jellemezve, hogy a maratás befejezése után először eltávolítjuk a marószert, majd azután vesszük ki a csipet a védő folyadékból. 4. A 2. vagy 3. igénypont szerinti eljárás, azzal jellemeze, hogy a védő folyadék szilikon olaj. 5. Az 1-4. igénypontok bármelyike szerinti eljárás, azzal jellemezve, hogy a szabályozó maszk kialakítása előtt a leendő maszk alatti területen áramköri elemeket hozunk létre. 5 10 15 20 3
