199016. lajstromszámú szabadalom • Eljárás adott vastagságú szilícium membránok kialakítására változó vastagságú szilícium szeletből
(19) Országköd: HU SZABADALMI I (11) Lqstromizám: LEÍRÁS 199016 B SZOLGÁLATI TALÁLMÁNY (22) Bejelentés napja: 1986.02.12. (40) Közzététel napja: 1987.10.28. (21) 602/86 MAGYAR KÖZTÁRSASÁG ORSZÁGOS TALÁLMÁNYI HIVATAL (45)Megjelent: 1990. 04. 03. (51) IntCI« G 01 L 1/18 H 01 L 21/467 (72) Feltalálók: (73) Szabadalmas: Kidér György, MTA Központi Fizikai Kutató Intézete, Tóth András, Budapest, HU Budapest, HU (54) Eljárás adott vastgságú szilícium membránok kialakítására változó vastagságú szilícium szeletből (37) KIVONAT Az eljárás során az előnyös (100) orientációjú kristály mindkét oldalán védőréteget hozunk létre és az egyik oldalon szabályozó, a másik oldalon pedig maró maszkot alakítunk ki a védőrétegben, majd a szabályozó maszkon keresztül leválasztó árkot hozunk létre és ezután vagy ezzel egyidőben maratjuk a membránt, mindaddig, amíg a maratás a leválasztó árokig nem ér és miután az árok mentén körbe maródott a szilícium, létrejön a membránt tartalmazó csip. A maratással leválasztott csípek a szilícium szeletből kihullanak és a kihulott csipeket a maratószerből azonnal eltávolítjuk. A leírás terjedelme: 3 oldal, ábra nélkül HU 199016 B
