198344. lajstromszámú szabadalom • Beállító szerkezet optikai elemek két szabadságfokú beállítására
1 2 resztmetszetű 20 csuklókat hoztuk létre. A 14 deformációs keret az 51 első- és az 52 második billenő tüskök végeik között elhelyezett 55 alátétek közbeiktatásával az 58 második rögzítő csavarokkal merev egységgé vannak összekapcsolva. Az 51 első-, 52 második billenő tuskók és az 53 első-, 54 második külső tagok között kialakított 20 csuklók kis vastagsági méretük miatt az X vízszintes-, Y függőleges tengelyre vonatkoztatott másodrendű nyomatéka igen kicsi, ezért az X vízszintes-, Y függőleges tengelyek körül, a 30 mikrométerekkel kifejtett minimális nyomaték hatására egymáshoz viszonyítva elmozdíthatok az 51 első-, 52 második billenő tuskók és az 53 első-, 54 második külső tagok. Az 53 első-, 54 második külső tagok elmozgatásával a hozzájuk kapcsolt 0 optikai tengelyben elhelyezett optikai elemet a kívánt helyzetbe tudjuk hozni. Az X vízszintes tengely körül elmozdítható 53 első külső tag a 15 belső távtartókon keresztül a 43 illesztőszeg és a 44 első rögzítőcsavar segítségével a 13 billenő szerkezethez, az 54 második külső tag a 16 külső távtartókon keresztül ugyancsak a 43 illesztőszeg és a 44 első rögzítőcsavar segítségével a 12 állványhoz van rögzítve! A szerkezeti elemek ilyen elrendezése mel lett a 20 csuklók biztosítják, hogy a 13 billenő szer kezet a 12 állványhoz képest már kis nyomaték hatására képes az X vízszintes- és az Y függőleges gengelyek körüli elfordulásra. A 13 billenő szerkezet 0 optikai tengely vonalában kialakított nyílást biztosítottunk az optikai elem elhelyezésére, melyen a fénysugár zavartalanul áthaladhat. A 6. ábrán metszetben látható golyós 19 billenőcsap 61 csapból, 62 perselyből és 63 acélgolyóból van felépítve. A 19 billenőcsapok 61 csapjai az X vízszintes-, illetve az Y függőleges tengely mentén párosával vannak a 41 állórészbe, illetve a 31 tartóasztalba besajtolva. A 62 tengelyek mindkét X vízszintes-, illetve Y függőleges tengely mentén a 42 billenő gyűrűbe vannak besajtolva. A párt alkotó 19 billenőcsapok 62 perselyei közül az egyik kúpos, a másik prizmás kialakítású, mely az összeszerelési túlhatározottság elkerülését biztosítja. A 61 csapok és a 62 perselyek a 63 acélgolyók közbeiktatásával vannak összekapcsolva. A 63 acélgolyók középpontja az X vízszintes- és az Y függőleges tengelyek által meghatározott síkban vannak elhelyezve. A találmány szerinti beállító szerkezettel úgy történik a tükrök, lencsék és egyéb optikai elemek beállítása, hogy azokat a 32 optikai elem tartóval - amely biztosítja az optikai elem működő felületének az X vízszintes-, és az Y függőleges tengelyek által meghatározott síkban való elhelyezését — a 31 tartóasztalra erősítjük. A beállítás során első lépésben a kívánt szöghelyzet megközelítő, gyors beállítását végezzük el a 13 billenő szerkezettel úgy, hogy a 23 első állitócsavarral az X vízszintes tengely körül, a 24 második állítócsavarral pedig az Y függőleges tengely körül billentjük a 31 tartóasztalt. A billentések során, mivel a 19 billentőcsapok 53 acélgolyóinak középpontjai mindig az X vízszintes-, illetve az Y függőleges tengelyen vannak, ezért az optikai elem ezen tengelyek körül elmozdulás mentes szögelfordulást végez. Ezáltal tudtuk biztosítani az invariáns jusztírozást. Az optikai elemnek a kívánt szöghelyzetbe történő intérferometrikus pontosságú finom beállítását a 30 mikrométerrel végezzük el. A finom beállítás során az akadozó csúszástól mentes 20 csuklók alkalmazásával biztosítjuk az interferometrikus pontosságú beállítási pontosságot. Mivel a 20 csuklók középpontjai az X vízszintes-, ületve az Y függőleges tengelyen vannak, ezért a finom beállítás során is biztosítottuk az invariáns jusztírozást. A találmány szerinti beállító szerkezet előnyei, hogy a gyors- és finom mozgató szerkezet alkalmazásával az optikai elemek kívánt szöghelyzetbe történő beállítása széles tartományban igen nagy mozgatási és beállási pontossággal gyorsan végezhető el. A gyors mozgató szerkezet biztosítja a széles beállítási tartományt, a finom mozgató szerkezet, a teljesen akadozó csúszástól mentes csuklók révén biztosítja a fény hullámhosszával összemérhető mozgatási felbontást és beállási pontosságot. A beállítás során a forgástengelyek az optikai elem középpontján mennek át, így az csak szöghelyzet változást végez. A beállítás során a szabadságfokok függetlenek, ezért a beállítás kényelmesen és gyorsan elvégezhető. A beállító szerkezet felépítése és előállítása viszonylag egyszerű. A beállító szerkezet előnyösen alkalmazható nagy. beállítási tartományt és beállítási felbontást igénylő, elsősorban lézeres alkalmazásoknál végzett méréseknél. SZABADALMI IGÉNYPONTOK 1. Beállító szerkezet optikai elemek két szabadságfokú beállítására, amelynek állványa, optikai elem tartóasztala, tartóasztal felfüggesztő szerkezete és beállító szerkezete van, azzal jellemezve, hogy a beállító szerkezetnek az állvány (12) és a tartóasztal (31) között elhelyezett, egymással kinematikai láncban sorbakapcsolt, első csukló rendszerrel (17) ellátott billenő szerkezete (13) és második csuklórendszerrel (18) ellátott deformációs kerete (14), valamint a tartóasztal (31) és a deformációs keret (14) között elhelyezett gyors mozgató szerkezete (21), a billenő szerkezet (13) és az állvány (12) között elhelyezett finom mozgató szerkezete (22) van. (1,2 ábra) 2. Az 1. igénypont szerinti beállító szerkezet, azzal jellemezve, hogy a billenő szerkezetnek (13) a deformációs kerethez (14) rögzített állórésze (41), az állórész (41) és az optikai elem tartóasztal (31) között golyós billenőcsapokra (19) támaszkodó billenő gyűrűje (42), az állórészt (41), a tartóasztalt (31) és a billenő gyűrűt (42) összekapcsoló első húzórugója (28) van. (3. ábra) 3. Az 1. vagy 2. igénypont szerinti beállító szerkezet, azzal jellemezve, hogy a deformációs keretnek (14) vízszintes tengelyre (X) merőlegesen elhelyezett két első billenő tuskója (51), függőleges tengelyre (Y) merőlegesen elhelyezett két második billenő tuskója (52), a billenő tuskókat (51, 52) merev keretté összeillesztő alátété (55), a billenő tüskökön (51, 52) furatokkal (56) kialakított, a vízszintes tengely (X), illetve a függőleges tengely (Y) mentén legalább egy, célszerűen párban elhelyezett csuklói (20), valamint a billenő tuskóktói (51, 52) réssel (57) elválasztott, a billenő tüskökhöz (51, 52) a csuklókkal (20) kapcsolt, a vízszintes- (X) és a füg-198.344 5 10 15 20 25 30 35 40 45 50 55 60 4
