198230. lajstromszámú szabadalom • Vákuumgőzölögtető ber. vékonyrétegek felvitelére
17 HU 198230 B 18 van, a 16 lyukból való kilépésekor szuperszónikus sebességet vesz fel. Ezen kívül egyenletes intenzitás-eloszlás jellemzi az egész keresztmetszeten. A felső 26 hőpajzs megnöveli a 15 diafragma és a 4 csővezeték felső 17 része közötti hőmérséklet-gradienst, ami főleg a magas elgőzölgési hőmérsékletű anyagok, például arany felgőzölésekor szükséges. Az alsó 27 hőpajzs csak a 4 csővezetéknek másik végével az 1 tégelyre való helyezése után tölti be funkcióját. A 45 lyukkal ellátott felső 43 diafragma - ahol a 45 lyuk alakja megfelelő a vékonyréteg- konfigurációjának - korrigálja az irányított 7 gőzáram keresztmetszetének alakját, amikor is egyezteti azt a 6 hordozó alakjával. A 43 diafragmán ugyanúgy mint a 4 csővezeték felső 17 részén történik a 2 felgőzölendő anyag gőzének folyékony fázisba való kondenzációja. Ugyanekkor megy végbe az alsó 44 diafragraáról és a 4 csővezeték alsó 18 részéről a korábban kondenzálódott 2 felgőzölendő anyag elgőzölgése. A 4 csővezetéknek a másik végével az 1 tégelybe való behelyezése után a 43 diafragma a 4 csővezeték 17 részével együtt az alsó helyzetet veszi fel, igy a fűtőzónában van, és a rákondenzálódott anyag elgőzölög. Éppen ilyen módon működik a 6. ábrán bemutatott gőzölögtető berendezés, amelynek 4 csővezetékének végein a 30 és 31 hasítékokkal ellátott 28 és 29 diafragmák vannak rögzítve. A felső 28 diafragma ugyanúgy, mint a 43 diafragma (5. ábra) összegyűjti a 7 gőzáramból az anyag egy részét. A 4 csővezetéknek a másik végével az 1 tégelybe való behelyezése után a 20 diafragma a fútőzónába kerül és a rákondenzálódott anyag elgőzölög. A különbség annyi, hogy a 28 diafragma (6. ábra) alakja és helyzete lehetővé teszi az irányított áramlás korrekcióját a 6 hordozó zónájában. A 7. ábrán sraffozott So területtel ábrázoljuk a 6 hordozó közepén levő M pontból (6. ábra) látható hatásos kisugárzási felületet. A 6 hordozó középpontjában a felgőzölögtetési sebesség arányos ezen tartomány So területével. Mint látható, a sugárzóforrás felületének jelentős részét (32 síkban lévő kontúr a 7. ábrán) a 28 diafragma 33 belső része (34 síkban levő kontúr a 7. ábrán) .árnyékolja". A 6 hordozó szélén lévő N pont számára hatásos sugárzási felületet a 8. ábrán az So területtel ábrázoltuk. A sugárzóforrást (32 sikban lévő kontúr) a 28 diafragma (36 sikban lévő kontúr a 8. ábrán) 35 külső része (6. ábra) kezdi .árnyékolni", az Sí árnyékolási felületet (8. ábra). A sugárforrás Sí árnyékolási felületét ugyanakkor S2 mennyiséggel csökkenti a 28 diafragma (34 sikban lévő kontúr a 8. ábrán) 33 belső része (6. ábra). A 4 csővezeték és a 28 diafragma méretei arányainak megválasztásával egyenlővé tehetjük a 6 hordozó középpontja és a széle számára a hatásos kisugárzási felületet, sőt elérhetjük, hogy a 6 hordozó széle számára a sugárzási felület lesz a nagyobb, amit kompenzálunk a valódi forrás kisugárzásának természetes koszinusz-törvényével és igy megnöveljük a felhordandó vékonyréteg vastagságának egyenletességét. A 28 és 29 diafragmák középpontjában elhelyezhetünk olyan (a rajzon nem ábrázolt) lyukakat, amelyek még nagyobb mértékben közelebb hozzák a 6 hordozó tartományában a hatásos sugárzási felület terület-változásának törvényszerűségét a fordítottan arányos koszinusz-törvényhez. Ez még jobban megnöveli a felgőzölt réteg vastagságának egyenletességét. A gőzölögtető berendezésnek a 9. és 10 ábrán bemutatott változata, amelynél a 4 csővezeték végeire gyűrű alakú 30, 31 hasítékokkal ellátott 28, 29 diafragmákat erősítettünk, hasonlóan működik, mint az előzőekben leírtak. Csak ebben az esetben a 36 sík a 4 csővezeték felső homlokoldalának szintjén van és betölti a 28 diafragma 35 külső részének funkcióját. A gyűrű alakú 30 hasíték ugyanúgy van elhelyezve, mint a 6. ábrán, és a 7. és 8. ábrán levezetett hatásos kisugárzási felület változásénak jellege ugyanaz marad. A 37 támasztékok az áramlást nem akadályozzák. A 11. ábrán bemutatott gőzölögtető berendezésben, amelynek 4 csővezetékébe több 39 lyukkal ellátott 38 diafragma van rögzitve, a 4 csővezeték felső 17 részében megy végbe a 2 felgőzőlendő anyag gőzének folyékony fázisba való kondenzációja. Mivel a fűtőzónában lévő 38 diafragma az elgőzölgési hőmérsékleten van, rajta a 38 diafragma 39 lyukain szabadon áramló 2 felgőzölendő anyag gőzének kondenzációja nem megy végbe. Ezek a 4 csővezeték 41 tengelyéhez képest ß szögben (12. ábra) elhelyezett 39 lyukak, amelyekből a gőz túlnyomórészt saját geometriai 40 tengelyük irányába áramlik ki, a 6 hordozó tartományéban nagy egyenletességű intenzitással rendelkező 7 gözáramot képeznek. Az a gőzölögtető berendezés, amelynek 4 csővezetékének végein profilírozott 48 kivágásokkal ellátott 47 rátétek vannak (13. ábra) hasonlóan működik, mint az a gőzölögtető, amelynek 4 csővezetékének végein a 2 felgőzőlendő anyag konfigurációjának megfelelő alakú 45 és 46 lyukakkal ellátott 43 és 44 diafragmák vannak (5. ábra). A profilírozott 48 kivágásokkal ellátott 47 rétét (13. ábra) korrigálja az irányított 7 gőzáram alakját, amennyiben összhangba hozza a felgözölt réteg konfigurációjával úgy, hogy határain kívül az áram intenzitását ugrásszerűen csökkenti. Ez a profilírozott 48 kivágásokkal ellátott 47 rétét erősebben csökkenti az áramintenzitást a 6 hordozó és az arra felvitt vékonyréteg határain kívül, mint a 45 lyukkal rendelkező 43 diafragma (5. ábra), 5 10 15 20 25 30 35 40 45 50 55 60 65 11
