196854. lajstromszámú szabadalom • Terjedési ellenállás hőmérsékletfüggésen alapuló, előírt névleges ellenállásértékű szilícium hőérzékelő
1 2 196.854 amelynek hőérzékelő félvezető eleme és két kivezetése van, ahol a hőérzékelő félvezető elemnek szilícium egykristály hordozója és azon a hordozó vezetési típu- 5 savai azonos vezetési típusú adalék diffúziójával előállított első diffúziós szigete és második diffúziós szigete van, valamint külön az első diffúziós szigethez és külön a második diffúziós szigethez ohmos kontaktussal kapcsolódó hozzávezetést képező fémrétege van, amely fémrétegek az egyes kivezetésekkel össze van 'u nak kötve, és ahol a névleges ellenállásérték az első diffúziós sziget és amásodík diffúziós sziget között mérhető, azzal jellemezve, hogy az első diffúziós szigettel (30) egyező kialakítású harmadik és további diffúziós szigetei (40, 50,...iO, 40,50 ...iO ) -jg vannak, amelyek ohmos kontaktussal hozzárendelt harmadik és további fémrétegek (44,...i4) kapcsolódnak, amely harmadik és ^ovábbi diffúziós szigetek (40, 40,..,i0, 40’, 50’,,..i0’) egyenként az első diffúziós szigettel (20) együtt rendre a névleges ellenállásértéket is magábafoglaló értéksort megvalósító ellen- 20 állásokat alkotnak. 2. Az 1. igénypont szerinti hőérzékelő, azzal jellemezve, hogy a második diffúziós sziget (40), valamint a harmadik és a további diffúziós szigetek (40, 50,...iO) egymástól eltérő nagyságú köralakú területtel rendelkeznek és ezen köralakú területek középpontjai a hordozón (10) az első diffúziós sziget (20), mint középpont körül körív mentén, célszerűen felületük nagysága szerint monoton változó sorba rendezetten , helyezkednek el. 3. Az 1. igénypont szerinti hőrézékelő, azzal jellemezve, hogy a második diffúziós sziget (30), valamint^ harmadik és a további diffúziós szigetek (40 , 50’,.,.i0’) egymással egyező nagyságú terulettel rendelkeznek, és a hordozón (10) az első diffúziós sziget (20), mint középpont körül csigavonal mentén helyezkednek el. 4. Az 1-3. igénypontok bármelyike szerinti hőérzékelő, azzal jellemezve, hogy az első diffúziós szigethez (20), a második diffúziós szigethez (30), valamint a harmadíjt és a további diffúziós szigetekhez (40, 50,.„iO, 40,50’,...í0’) kapcsolódó fémrétegek (24, 34, 44,...i4) mindegyike két kontaktusterülettel (KU2, KI2, KU3, KI3, KU4,...KUi, Kli) rendelkezik. 25 3 db rajz Kiadja: Országos Találmányi Hivatal Felelős kiadó: Himer Zoltán o.v. KÓDEX 5
