196468. lajstromszámú szabadalom • Elektróda paszta szervetlen hordozó kontaktozására
6 196468 szerves vivőfázis gázalakú bomlástermékei maradéktalanul eltávoznak a rétegből. A felületi feszültség csökkentésére 0,1-1 tömeg% mennyiségben cetiJsztearil-alkoholt alkalmazunk, amelynek 16-18 HLB (hydrophy- 5 le-lipophyle balance) értéke nagy hidrofilítást jelent és így a különböző elektroaffinitású komponensek jól homogenizálhatók. Az elektróda paszták felvitelénél szükséges tixotróp tulajdonságot bentonit, így 10 montmorrillonitot tartalmazó bentonit, nátrium-bentonit, előnyösen organofil bentonit adagoláséval érjük el, amely gélképző tulajdonsága folytán kiváló szuszpendáló anyag. Az elektróda pasztában található fémpig- 15 ment és szervetlen kötőanyagok felületének, valamint a hordozó felületének nedvesítése jelentős mértékben javítható, ha folyósítószerként Ce02-t alkalmazunk. Ez az adalék továbbá megakadályozza a fémpigment szem- 20 cséinek bediffundálását a meglágyult kerámiába. Szervetlen kötőanyagok alkalmazása, vagyis kiégett kerámia hordozó utólagos kontaktozása esetén további folyósitószerként 25 sószerű alkélifém-vegyületeket, vagyis nátrium-antimonátot, nátrium-perborétot, nátrium-szelenitet vagy nátrium-telluritot használunk. A beégetési hőfokon oxidáció következtében az erősen pozitív nátrium oxidkötéssel ^ erősítő a fém-kerámia kötés szilárdságát, másrészt a félfémes jellegű (Sb, B, Se, Bi) komponens az oxidkötés mellett javítja a kialakult vezetőréteg forraszthatósági tulajdonságait. ^ A találmány szerinti elektróda paszta előnyösen alkalmazható szervetlen hordozó, így síküveg vagy különböző alapú nyers vagy kiégett kerámia bevonására, kontaktozására, elektromos vezetósávok kialakítására. Nyers kerámia hordozón történő elektromos fázis kialakításakor a találmány szerinti paszta teljesen kompatibilis, igy például a chip gyártásénál a rétegelt fólia szétválása tökéletesen megelőzhető. A találmány szerinti pasztákban alkalmazott adalékanyagok mind a szerves vivófázisban, mind a beégetésnél képződő olvadékfózisban biztosítják a hordozó felület kiváló nedvesítését. Ezáltal egyenletesen, jó elektromos tulajdonságú és gazdaságos vékony vezetöréteg alakítható ki. A találmány szerinti paszták különösen előnyösen alkalmazhatók cső- és tárcsakondenzétorok, elizolit testek kontraktozésára, amelyek kiégetése 680-860 °C hőmérsékleten történik. Nyers oxid kerámiára felvive monolit kondenzátorok belső fegyverzetének kialakítására alkalmas, amelynél a beégetés 1240-1400 °C hőmérsékleten történik. A találmány szerinti paszták előnyös felhasználási tulajdonságait az 1. és 2. táblázatok mutatják be, ahol összehasonlító anyagként a Demetron (NSZK) 64 900 456. jelű Pd pasztát és 64 900 482. jelű Ag-Pd pasztát használtuk. 1. táblázat Rétegtulajdonségok Ismert készítmény Találmány szerinti készítmény Ag-Pd Pd Ag-Pd Pd Beégetés utáni vastagság (um) 5-8 5-8 5-8 5-8 Négyzetes ellenállás (m£2q) 20 25 20 25 Viszkozitás (Pa.s) 0.2-0.3 0.1-0.8 0.2-0.3 0.1-0.8 Fajlagos felhasználás (mg/mm2) 0.07016 0.08552 0.05781 0.07229 2. táblázat Kerámiák vezetősávjainak tulajdonságai Rétegtulajdonságok Ismert készítmény Találmány szerinti paszta Ag Ag-Pd Ag Ag-Pd Beégetés utáni vastagság (um) 12-15 5-8 12-15 5-8 Négyzetes ellenállás (men) Forraszkioldódás 20 25-30 20 25-30 62 Sn 36 Pb 2 Ag 220 °C-os 10 s-os mártási ciklusszóm 4-5 7-9 5-6 9-10 5