196262. lajstromszámú szabadalom • Eljárás félvezető anyagok és szerkezetek elektromosan aktív szennyezéseinek vizsgálatára és mérési elrendezés az eljárás foganatosítására
1 196 262 2 (1) és a mikrohullámú híd közé a mikrohullámú teljesítmény továbbhaladását megszakító kapcsoló (3) van közbeiktatva, amelynek vezérló bemenete a négyszögjelgenerátor (14) kimenetéhez csatlakozik. 14. A 10—13. igénypontok bármelyike szerinti mérési elrendezés, azzal jellemezve, hogy mikrohullámú üregének (6) optikailag nyitott belső tere van. 15. A 14. igénypont szerinti mérési elrendezés, azzal jellemezve, hogy az impulzusgenerátor (13) illesztő tagon (12) keresztül csatlakozik a félvezető mintához (17) és az ehhez csatlakozó hozzávezetés az üreg (6) belső terében minimalizált hosszú és átmérőjű, a kialakuló mikrohullámú tér viszonyait minimálisan befolyásoló elrendezésben van megvalósítva. 16. A 10—14. igénypontok bármelyike szerinti mérési elrendezés, azzal jellemezve, hogy az üreg (6) hűthető és fűthető kivitelű és hűtő-fűtőberendezésben van elhelyezve. 17. A 10—16. igénypontok bármelyike szerinti mérési elrendezés, azzal jellemezve, hogy a mikrohullámú híd egyik ága tartalmaz első csillapítót (4a), ennek kimenetéről táplált cirkulátort (5), másik ága tartalmaz második csillapítót (4b), vele sorosan kapcsolt fázistolót (7), a két ág egymással párhuzamosan van kapcsolva, és az üreg (67) a cirkulátornak (5) a betáplálás! és kimeneti portjai közé eső egyik porthoz csatlakozik, a vele átellenes porthoz pedig ballaszt csatlakozik. 5 10 15 2 db ábra
