195927. lajstromszámú szabadalom • Berendezés vékonyrétegű bevonatok felvitelére elektrosztatikus szórással
6 195927 7 fogja. A 17 hajBzálcső számának a növelésével a berendezés teljesítménye igen erőteljesen növelhető meg. A találmány szerinti berendezés lehetővé teszi, hogy igen jó villamos vezetóképességű oldatból is fel lehessen vinni tetszőlegesen egyenletes és fimonszemcséjű vékony réteget, még olyan esetben is amikor az oldatot a platinacsoportbeli fémek sóiból képezzük. A találmány szerinti berendezés egyúttal csökkenti a nemesfém felhasználást is, mivel a folyadékot teljes egészében elhasználja, nincsen lecsőpőgő vagy elfolyó folyadék. A találmány szerinti berendezéssel például titánra lehet felvinni platina vagy titóncsoportbeli fémek oxidjaiból vékony réteget. Az alábbiakban megadunk egy megvalósított termékre vonatkozó adatokat: A bevonat vastagsága 2-3 jum az oldat 0,1 cmVmin sebességénél. Közepes vastagságnál, azaz például 3 /um-es bevonatnál a maximális eltérés a bevonat vastagságában nem lépte túl a 0,5 /um értéket akkor, ha az oldat sebessége 0,25-0,3 cm5 percenként. Mivel a bevonat mindig teljes egészében csak a hajszálcsövei szembeni felületre jut így elkerülhető, hogy nemkívánatos helyekre vagy lyukakba is jusson a diszperzióból. Ez például több átmenő furattal ellátott termék esetében sem lépi túl veszteségben a 15%-ot. SZABADALMI IGÉNYPONTOK 1. Berendezés vékonyrétegű bevonatok készítésére elektrosztatikus szórással, amely berendezés tartalmaz egy, a szórandó folyadékot magába foglaló tartályt (1), nagyfeszültségű generátort (4), amelynek egyik pólusa a szórandó folyadékkal van összekapcsolva, másik pólusa pedig földelve van, tartalmaz továbbá a berendezés porlasztót (10), amely egy az elektrosztatikusán szórandó folyadékkal összekapcsolt hajszálcsövet (11) és egy ettől a hajszálcsótól (11) villamosán szi- 5 getelt és azzal egytengelyűén kiképezett fókuszáló elektródát (13) tartalmaz, azzal jellemezve, hogy a porlasztóban (10) lévő hajszálcső (11) dielektrikumból van kiképezve, a fókuszáló elektróda (13) pedig a nagyfeszült- 10 BÓgű generátornak (4) arra pólusára van csatlakoztatva, amely az elektrosztatikusán Bzórandó folyadékkal van összekapcsolva. 2. Az 1. igénypont szerinti berendezés, azzal jellemezve, hogy a porlasztóban (10) 15 még legalább egy további szintén dielektrikumból kiképezett és az elektrosztatikusán porlasztandó folyadékkal kapcsolatban álló hajszólcső (17) és ezzel megegyező számú, ettől szigetelt fókuszáló elektróda (18) is ki 20 van képezve, amelyek szintén a nagyfeszültségű generátornak (4) azzal a pólusával van-(nak) összekapcsolva, amellyel a porlasztandó folyadék is össze van kapcsolva. 3. A 2. igénypont szerinti berendezés, 25 azzal jellemezve, hogy a porlasztóban (10) még egy további, az elektrosztatikusán porlasztandó folyadékkal összekapcsolt cső (15) van kialakítva, amelynek a falában vannak a hajszálcsővek (17) elhelyezve, és ezzel egy- 30 tengelyűén egy további, az előző csőnél nagyobb átmérőjű cső (16) íb ki van képezve, amelynek falában a fókuszáló elektródák (18) VEnnak elhelyezve. 4. Az 1. vagy 2. igénypont szerinti be- 35 rendezés, azzal jellemezve, hogy tartalmaz egy, a fókuszáló elektródákkal (13) összekapcsolt hajtóművet (14). 5. A 4. igénypont szerinti berendezés, azzal jellemezve, hogy a hajtómű (14) a na-40 gyobb átmérőjű csővel (16) mechanikusan össze van kapcsolva. 3 rajz A kiadásért felel a Közgazdasági és Jogi Könyvkiadó igazgatója 89.993.66-4 Alföldi Nyomda Debrecen - Felelős vezető: Benkó István vezérigazgató 5