194444. lajstromszámú szabadalom • Eljárás ohmos kontaktus készitésére félvezető, előnyösen vegyületfélvezető szeleten
(19) HU MAGYAR NÉPKÖZTÁRSASÁG SZABADALMI LEÍRÁS SZOLGALATI TALÁLMÁNY A bejelentés napja: (22)85.02.19. (21) 601/85 ORSZÁGOS TALÁLMÁNYI HIVATAL A közzététel napja: (42) 1986.10.28. Megjelent: (45) 1988.05.02. (11) 194444 Nemzetközi oaztilyjelzet: (51) NSZ04 H01 L 21/268 .^Taláimánw^-^ Szabadalmi Tár. ' '* tulajdoné Feltaléló(k): (72) Szabadalmas: (73) dr. Kovács Balázs, dr. Mojzes Imre,Némethné Sallay Margit, Veresegyházy Robert, Budapest, MTA Műszaki Fizikai Kutató Intézete, Budapest dr. Geraszimenko Nyikolaj Nyikolájevics, Vasziljev Szergej Voldemárovics, Novoszibirszk, SU (54) Eljárás ohmos kontaktus készítésére félvezető, előnyösen vegyületfélvezető szeleten (57)KIVONAT A találmány tárgya ohmos kontaktus készítési módszer, előnyösen vegyületfélvezetőkön való alkalmazásra, melynek során a félvezető szelet felületére önmagában ismert módon vezető réteget viszünk fel, majd az így létrejött szerkezetet mikrohullámú energia segítségével hőkezeljük. A vezető réteg — vegyületfélvezető szerkezet hőkezelésére használt mikrohullámú energiát a hőkezelendő szerkezetre egy kísérletileg megállapított kezdeti értékről való fokozatosan növekvő mennyiségben adjuk rá. A hőkezelésre használt energia frekvenciája 0,90 ... 10 GHz, a hőkezelés ideje 30 ... 300 sec. A hőkezelésre használt energia kezdeti teljesítménye 0,1 ... 0,5 kW (A tartomány), amelyet a hőkezeléshez szükséges teljes hőkezelési idő 10 ... 50%-a alatt (B tartomány) növelünk fel a hőkezelés elvégzéséhez szükséges 0,5 ... 5 kW értékre (C tartomány). I 6brű
