192396. lajstromszámú szabadalom • Szelektíven maratható rétegrendszer ellenálláshálózatok előállítására
(19) HU MAGYAR népköztársaság SZABADALMI LEÍRÁS ORSZÁGOS TALÁLMÁNYI HIVATAL A bejelentés napja: (22) 1984. n. 20. (21) 654/84 (89): 226 169.Lsz.DD A bejelentés elsőbbsége: (33) DD (32) 1983. III. 21. (31) WPH01 Cl 248 987.6 A közzététel napja: (41) (42) 1984. XI. 28. Megjelent: (45) 1988. XI. 07. Feltaláló(k): (72) Szabadalmas: (73) 192396 B Nemzetközi osztályjelzet: (51) NSZ04 (11) H01 C 7/00 HOI C 17/06 di. Baether Karl-Heinz, dr. Schreiber Hart műt, dr Hinüber Wilfried, Drezda, Henneberger Jürgen, Hermsdorf, DD, Brode Wolfgang, Steinhauer Ingó, Hermsdorf, DD Kombinat VfB Keramische Werke Hermsdorf, Hermsdorf, DD (54) Szelektíven maratható rétegrendszer ellenálláshálózatok előállításához (57)KIVONAT A találmány tárgya szelektíven maratható rétegrendszer ellenálláshálózatok előállításálioz. A találmány szerinti rétegrendszel szigetelő hordozóra felvitt legalább két vékony rétegből áll. A rétegek alapanyaga lényegében króm és szilícium, amely legfeljebb 66 atom% oxigént tartalmaz. Két szomszédos rétegben a króm vagy a szilícium tartalom egymástól legalább 10 atom%-kal különbözik. Az egyes rétegek ellenállása az oxigéntartalom növelésével növelhető. Az eltérő összetételű rétegek — függetlenül az oxigéntartalomtól — egymáshoz képest szelektíven marathatók parciálisán szilíciumot, illetve krómot oldó marató anyagokkal.
